应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

Znn3bq.jpeg
小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » SU8-2000.5电子束曝光边缘粗糙，结构之间有交联
51/1返回列表
查看: 2769  |  回复: 11
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

chemney

新虫 (初入文坛)

[求助] SU8-2000.5电子束曝光边缘粗糙，结构之间有交联 已有3人参与

实验室购买的是MicroChem公司SU8-2002光刻胶，用该公司提供的稀释剂将光刻胶稀释一倍，浓度与SU8-2000.5一致。
电子束曝光条件：电压50kV，电流30pA    Written field 300um/10000dot
                           转速4000r  60s
                           前烘 65度1min，95度1min
                           显影前  65度1min，95度1min
                           显影60s，IPA清洗30s
具体曝光效果如下图所示。
曝光图形周期600nm, 柱子直径300nm-450nm。
请问图形边缘参差不齐、还有就是柱子之间交联的原因是什么呢？改进工艺条件应该从何处着手？

SU8-2000.5电子束曝光边缘粗糙，结构之间有交联
1,8.Y160kX50.0kV.jpg


SU8-2000.5电子束曝光边缘粗糙，结构之间有交联-1
2,7.Y160kX50.0kV.jpg


SU8-2000.5电子束曝光边缘粗糙，结构之间有交联-2
3.Y160kX50.0kV.jpg
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
1楼 2015-01-22 10:49:02
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

chemney

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by exciting73 at 2015-01-22 16:07:08
SU-8胶还可以电子束曝光啊？

文献中有报道
回复此楼
3楼2015-01-22 19:19:28
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 12 个回答

exciting73

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
SU-8胶还可以电子束曝光啊？
赞一下 回复此楼
2楼2015-01-22 16:07:08
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

xiaoyueriyue

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
chemney: 金币+20, ★有帮助 2015-01-24 13:29:39
对SU8胶了解不多，但看SEM图形，应该是曝光和显影时间控制的问题，柱子的边缘不齐整和有胶交联现象有可能是曝光时间或者强度过大的原因，使得胶在显影过程中无法完全被去除，留下胶的残余。建议降低曝光强度，另外，选择性地延长一下显影和清洗的时间试试。
赞一下(1人) 回复此楼
4楼2015-01-24 08:17:57
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

chemney

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
4楼: Originally posted by xiaoyueriyue at 2015-01-24 08:17:57
对SU8胶了解不多，但看SEM图形，应该是曝光和显影时间控制的问题，柱子的边缘不齐整和有胶交联现象有可能是曝光时间或者强度过大的原因，使得胶在显影过程中无法完全被去除，留下胶的残余。建议降低曝光强度，另外， ...

谢谢～
回复此楼
5楼2015-01-24 13:29:43
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 12 个回答
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 0854求调剂 +12 门路摸摸 2026-04-15 13/650 2026-04-16 00:14 by Art1977
[考研] 297，工科调剂? +3 河南农业大学-能 2026-04-14 3/150 2026-04-15 22:02 by noqvsozv
[考研] 求调剂学校 +14 不会吃肉 2026-04-13 16/800 2026-04-15 21:59 by noqvsozv
[考研] 297工科调剂? +14 河南农业大学-能 2026-04-13 15/750 2026-04-15 13:25 by 黑科技矿业
[考研] 211本科材料化工求调剂 +19 YHLAH 2026-04-11 23/1150 2026-04-14 22:25 by fenglj492
[考研] 085408光电信息工程专硕355一志愿长春光机所调剂 +6 王ymaa 2026-04-13 13/650 2026-04-14 11:33 by 王ymaa
[考研] 332求调剂 +15 蕉蕉123 2026-04-10 15/750 2026-04-13 23:12 by pies112
[考研] 一志愿鲁东大学071000生物学学硕初试分数276求调剂 +8 慕绝cc 2026-04-09 8/400 2026-04-13 14:08 by 张zhihao
[考研] 材料考研调剂 +29 云木达达 2026-04-11 31/1550 2026-04-13 13:32 by lyh鲁老师
[考研] 22408 352分求调剂 +5 努力的夏末 2026-04-09 5/250 2026-04-12 19:17 by wj165256
[考研] 求调剂 +16 张番茄不炒蛋 2026-04-10 17/850 2026-04-12 13:58 by 熬夜成！
[考研] 085410 273求调剂 +10 X1999 2026-04-09 10/500 2026-04-12 09:24 by 逆水乘风
[考研] 求调剂，一志愿大连理工大学354分 +5 雨声余生 2026-04-11 6/300 2026-04-11 16:12 by 雨声余生
[考研] 283求调剂 +22 那个噜子 2026-04-09 22/1100 2026-04-11 10:41 by 逆水乘风
[考研] 087100初试311求调剂 +4 任雅琴 2026-04-09 4/200 2026-04-11 10:33 by zhq0425
[考研] 085410-273求调剂 +6 X1999 2026-04-10 6/300 2026-04-11 10:32 by Delta2012
[考研] 22408 352分求调剂0854类 +4 努力的夏末 2026-04-09 4/200 2026-04-11 09:57 by zhq0425
[考研] 309求调剂 +14 wdhw 2026-04-10 15/750 2026-04-10 21:06 by zhouxiaoyu
[考研] 265求调剂 +12 风说她早忘了 2026-04-10 13/650 2026-04-10 18:56 by chemisry
[考研] 初试分332，一志愿报考西北工业大学， +11 故人?? 2026-04-09 11/550 2026-04-09 21:54 by JineShine
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭