应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

Znn3bq.jpeg
小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » SU8-2000.5电子束曝光边缘粗糙，结构之间有交联
汕头大学海洋科学接受调剂
51/1返回列表
查看: 2766  |  回复: 11
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

chemney

新虫 (初入文坛)

[求助] SU8-2000.5电子束曝光边缘粗糙，结构之间有交联 已有3人参与

实验室购买的是MicroChem公司SU8-2002光刻胶，用该公司提供的稀释剂将光刻胶稀释一倍，浓度与SU8-2000.5一致。
电子束曝光条件：电压50kV，电流30pA    Written field 300um/10000dot
                           转速4000r  60s
                           前烘 65度1min，95度1min
                           显影前  65度1min，95度1min
                           显影60s，IPA清洗30s
具体曝光效果如下图所示。
曝光图形周期600nm, 柱子直径300nm-450nm。
请问图形边缘参差不齐、还有就是柱子之间交联的原因是什么呢？改进工艺条件应该从何处着手？

SU8-2000.5电子束曝光边缘粗糙，结构之间有交联
1,8.Y160kX50.0kV.jpg


SU8-2000.5电子束曝光边缘粗糙，结构之间有交联-1
2,7.Y160kX50.0kV.jpg


SU8-2000.5电子束曝光边缘粗糙，结构之间有交联-2
3.Y160kX50.0kV.jpg
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
1楼 2015-01-22 10:49:02
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

chemney

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
6楼: Originally posted by yswyx at 2015-01-29 17:15:54
很显然，曝光过度了，把剂量减下来。
另外，SU8做电子束光刻会天然的发生膨胀，所以你的柱子不圆就很正常了。想让它更圆，也需要减少剂量。
另外，建议换Gersteltec的1010 SU8胶，专门做电子束光刻用的，更容易一 ...

非常感谢~
回复此楼
7楼2015-01-30 08:55:46
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 12 个回答

exciting73

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
SU-8胶还可以电子束曝光啊？
赞一下 回复此楼
2楼2015-01-22 16:07:08
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

chemney

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by exciting73 at 2015-01-22 16:07:08
SU-8胶还可以电子束曝光啊？

文献中有报道
回复此楼
3楼2015-01-22 19:19:28
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

xiaoyueriyue

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
chemney: 金币+20, ★有帮助 2015-01-24 13:29:39
对SU8胶了解不多，但看SEM图形，应该是曝光和显影时间控制的问题，柱子的边缘不齐整和有胶交联现象有可能是曝光时间或者强度过大的原因，使得胶在显影过程中无法完全被去除，留下胶的残余。建议降低曝光强度，另外，选择性地延长一下显影和清洗的时间试试。
赞一下(1人) 回复此楼
4楼2015-01-24 08:17:57
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 12 个回答
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 294求调剂 +3 淡然654321 2026-04-15 3/150 2026-04-15 13:13 by Llllss12
[考研] 22408 312求调剂 +17 门路摸摸 2026-04-14 18/900 2026-04-15 13:11 by 西北望—风沙
[考研] 材料工程085601，270求调剂 +42 @ASDF1234 2026-04-08 46/2300 2026-04-14 18:12 by 逍遥三郎
[考研] 材料相关专业344求调剂双非工科学校或课题组 +21 hualkop 2026-04-12 22/1100 2026-04-14 17:44 by lhj2009
[教师之家] 转长聘了 +7 简单化xn 2026-04-13 7/350 2026-04-14 14:50 by xindong
[考研] 085600材料与化工329分求调剂 +24 叶zilin 2026-04-13 25/1250 2026-04-14 09:20 by 试管破裂
[考研] 一志愿华工085600 331分 +7 天下ww 2026-04-09 7/350 2026-04-13 09:01 by lhj2009
[考研] 296求调剂 +14 汪！？！ 2026-04-10 16/800 2026-04-12 10:48 by zhouyuwinner
[考研] 291求调剂 +11 关忆北. 2026-04-09 12/600 2026-04-12 10:32 by 逆水乘风
[考研] 291求调剂 +8 关忆北. 2026-04-11 8/400 2026-04-12 09:32 by 逆水乘风
[考研] 药学专硕调剂 +8 ? 一路生?花? 2026-04-10 10/500 2026-04-11 21:21 by zhouxiaoyu
[考研] 283求调剂 086004考英二数二 +17 那个噜子 2026-04-10 18/900 2026-04-11 16:27 by 明月此时有
[考研] 352 求调剂 +6 yzion 2026-04-11 8/400 2026-04-11 16:24 by 明月此时有
[考研] 0854调剂 +5 音像店听花鼓戏 2026-04-10 5/250 2026-04-11 10:49 by qingpingzhu
[考研] 0854调剂 +8 950824he@ 2026-04-09 8/400 2026-04-11 10:11 by zhq0425
[考研] 284求调剂 +12 archer.. 2026-04-10 13/650 2026-04-11 08:44 by zhq0425
[考研] 342电子信息专硕求调剂 +9 你让我怎么荔枝 2026-04-10 10/500 2026-04-11 08:33 by zhq0425
[考研] 263能源动力专硕求调剂 +4 加大号饭盒袋 2026-04-10 4/200 2026-04-10 20:52 by gong120082
[考研] 化学工程与技术专业一志愿哈工程 291分B区 国家级大创负责人 有一作论文 +13 Emmy~ 2026-04-09 13/650 2026-04-09 14:47 by only周
[考研] 求调剂 +3 猪肉墩粉条cc 2026-04-08 4/200 2026-04-09 10:05 by 猪肉墩粉条cc
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭