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PECVD生长SiO2薄膜出现褶皱 已有2人参与
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用PECVD生长0.5um的SiO2薄膜，从炉子里面拿出来不久就出现这种褶皱，求助大神们知道是什么原因吗？ 基底是n型高掺杂Si(500um)+Au(200nm)，尺寸1.5*1.5cm  IMG_2612.JPG |
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