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li2005235

新虫 (初入文坛)

你这个情况我遇到过类似的,怎么可能退火呢,你拿出来就开裂啦,怎么有时间退火。除非有沉积系统和退火系统一体化的那种设备,估计国内很少有。这个问题的关键在于,你要分多次进行溅射。每次100nm,在停止溅射2min,继续溅射,进行5次,这样绝对不会有问题的。因为我就是这样解决的。你这种情况就是因为连续溅射薄膜的内部缺陷太多,应力问题解决不了。
11楼2015-01-27 11:05:19
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没理想的香蕉

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
11楼: Originally posted by li2005235 at 2015-01-27 11:05:19
你这个情况我遇到过类似的,怎么可能退火呢,你拿出来就开裂啦,怎么有时间退火。除非有沉积系统和退火系统一体化的那种设备,估计国内很少有。这个问题的关键在于,你要分多次进行溅射。每次100nm,在停止溅射2min ...

你的意思是说长Au的时候多次溅射还是长SiO2的时候多次溅射?
12楼2015-04-17 14:32:08
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li2005235

新虫 (初入文坛)

做SiO2的时候多层溅射就可以。
13楼2015-04-18 09:11:02
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