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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 材料测试 » PECVD生长SiO2薄膜出现褶皱
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li2005235

新虫 (初入文坛)
你这个情况我遇到过类似的，怎么可能退火呢，你拿出来就开裂啦，怎么有时间退火。除非有沉积系统和退火系统一体化的那种设备，估计国内很少有。这个问题的关键在于，你要分多次进行溅射。每次100nm，在停止溅射2min，继续溅射，进行5次，这样绝对不会有问题的。因为我就是这样解决的。你这种情况就是因为连续溅射薄膜的内部缺陷太多，应力问题解决不了。
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11楼2015-01-27 11:05:19
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没理想的香蕉

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
11楼: Originally posted by li2005235 at 2015-01-27 11:05:19
你这个情况我遇到过类似的，怎么可能退火呢，你拿出来就开裂啦，怎么有时间退火。除非有沉积系统和退火系统一体化的那种设备，估计国内很少有。这个问题的关键在于，你要分多次进行溅射。每次100nm，在停止溅射2min ...

你的意思是说长Au的时候多次溅射还是长SiO2的时候多次溅射？
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12楼2015-04-17 14:32:08
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li2005235

新虫 (初入文坛)
做SiO2的时候多层溅射就可以。
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13楼2015-04-18 09:11:02
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