| 查看: 1815 | 回复: 12 | |||
[求助]
PECVD生长SiO2薄膜出现褶皱 已有2人参与
|
|||
|
用PECVD生长0.5um的SiO2薄膜，从炉子里面拿出来不久就出现这种褶皱，求助大神们知道是什么原因吗？ 基底是n型高掺杂Si(500um)+Au(200nm)，尺寸1.5*1.5cm  IMG_2612.JPG |
回复此楼» 猜你喜欢
285求调剂
已经有5人回复
-
生物学求调剂
已经有4人回复
-
0854求调剂
已经有3人回复
-
319分085702安全工程求调剂
已经有4人回复
-
生物学308分求调剂（一志愿华东师大）
已经有6人回复
-
085600材料与化工301分求调剂院校
已经有14人回复
-
0703化学调剂325分
已经有12人回复
-
求助071001调剂！！！
已经有5人回复
-
工科370求调剂
已经有3人回复
-
材料专硕322
已经有10人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 氢氧化钾 与 二氧化硅 （PECVD）
已经有4人回复
- 求助关于用PECVD在硅片上生长SiO2的掩膜材料
已经有8人回复
- 【求助】PECVD沉积SiO2薄膜，结果把机械泵的排风管给腐蚀了！
已经有5人回复
caoxiafei
专家顾问 (著名写手)
研发工程师-Topcon/HJT电池
-
专家经验: +112 - 应助: 184 (高中生)
- 贵宾: 0.018
- 金币: 5035
- 散金: 6
- 红花: 23
- 帖子: 1218
- 在线: 434.3小时
- 虫号: 832355
- 注册: 2009-08-22
- 性别: GG
- 专业: 无机非金属类光电信息与功
- 管辖: 功能材料
4楼2015-01-22 08:57:09
2楼2015-01-21 16:03:12
3楼2015-01-21 16:25:36
5楼2015-01-22 09:34:25
caoxiafei
专家顾问 (著名写手)
研发工程师-Topcon/HJT电池
-
专家经验: +112 - 应助: 184 (高中生)
- 贵宾: 0.018
- 金币: 5035
- 散金: 6
- 红花: 23
- 帖子: 1218
- 在线: 434.3小时
- 虫号: 832355
- 注册: 2009-08-22
- 性别: GG
- 专业: 无机非金属类光电信息与功
- 管辖: 功能材料
6楼2015-01-22 09:43:49
caoxiafei
专家顾问 (著名写手)
研发工程师-Topcon/HJT电池
-
专家经验: +112 - 应助: 184 (高中生)
- 贵宾: 0.018
- 金币: 5035
- 散金: 6
- 红花: 23
- 帖子: 1218
- 在线: 434.3小时
- 虫号: 832355
- 注册: 2009-08-22
- 性别: GG
- 专业: 无机非金属类光电信息与功
- 管辖: 功能材料
7楼2015-01-22 09:45:52
8楼2015-01-22 09:59:08
9楼2015-01-22 15:33:36
caoxiafei
专家顾问 (著名写手)
研发工程师-Topcon/HJT电池
-
专家经验: +112 - 应助: 184 (高中生)
- 贵宾: 0.018
- 金币: 5035
- 散金: 6
- 红花: 23
- 帖子: 1218
- 在线: 434.3小时
- 虫号: 832355
- 注册: 2009-08-22
- 性别: GG
- 专业: 无机非金属类光电信息与功
- 管辖: 功能材料
10楼2015-01-22 16:44:26
