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PECVD生长SiO2薄膜出现褶皱 已有2人参与
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用PECVD生长0.5um的SiO2薄膜，从炉子里面拿出来不久就出现这种褶皱，求助大神们知道是什么原因吗？ 基底是n型高掺杂Si(500um)+Au(200nm)，尺寸1.5*1.5cm  IMG_2612.JPG |
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5楼2015-01-22 09:34:25
2楼2015-01-21 16:03:12
3楼2015-01-21 16:25:36
caoxiafei
专家顾问 (著名写手)
研发工程师-Topcon/HJT电池
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专家经验: +112 - 应助: 184 (高中生)
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- 专业: 无机非金属类光电信息与功
- 管辖: 功能材料
4楼2015-01-22 08:57:09
