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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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dulituan08

新虫 (小有名气)

[交流] 氢氧化钾 与 二氧化硅 (PECVD) 已有1人参与

各位兄弟姐妹, 氢氧化钾与二氧化硅的反应速度 有谁知道?
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dulituan08

新虫 (小有名气)

自己先顶一下,,,
2楼2013-08-22 13:06:45
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yswyx

专家顾问 (著名写手)



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不同工艺做的SiO和KOH反应速度差别巨大,即使都是PECVD做的差别也巨大,速度慢的一个钟头也腐蚀不了1um,速度快的一分钟1um就报销了。
3楼2013-08-22 13:13:19
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dulituan08

新虫 (小有名气)

引用回帖:
3楼: Originally posted by yswyx at 2013-08-22 13:13:19
不同工艺做的SiO和KOH反应速度差别巨大,即使都是PECVD做的差别也巨大,速度慢的一个钟头也腐蚀不了1um,速度快的一分钟1um就报销了。

请问您曾经用什么条件做过类似的实验?
4楼2013-08-22 14:27:33
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yswyx

专家顾问 (著名写手)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
引用回帖:
4楼: Originally posted by dulituan08 at 2013-08-22 14:27:33
请问您曾经用什么条件做过类似的实验?...

最强的PECVD SiO,去查无H氧化硅的PECVD文献。
最差的氧化硅,去查超快速的PECVD SiO方面的文献。
5楼2013-08-22 17:32:12
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