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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术讨论 » 氢氧化钾 与 二氧化硅 （PECVD）
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dulituan08

新虫 (小有名气)

[交流] 氢氧化钾 与 二氧化硅 （PECVD） 已有1人参与

各位兄弟姐妹， 氢氧化钾与二氧化硅的反应速度 有谁知道？
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1楼 2013-08-22 12:17:08
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dulituan08

新虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by yswyx at 2013-08-22 13:13:19
不同工艺做的SiO和KOH反应速度差别巨大，即使都是PECVD做的差别也巨大，速度慢的一个钟头也腐蚀不了1um，速度快的一分钟1um就报销了。

请问您曾经用什么条件做过类似的实验？
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4楼2013-08-22 14:27:33
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dulituan08

新虫 (小有名气)
自己先顶一下，，，
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2楼2013-08-22 13:06:45
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yswyx

专家顾问 (著名写手)
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不同工艺做的SiO和KOH反应速度差别巨大，即使都是PECVD做的差别也巨大，速度慢的一个钟头也腐蚀不了1um，速度快的一分钟1um就报销了。
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3楼2013-08-22 13:13:19
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yswyx

专家顾问 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
4楼: Originally posted by dulituan08 at 2013-08-22 14:27:33
请问您曾经用什么条件做过类似的实验？...

最强的PECVD SiO，去查无H氧化硅的PECVD文献。
最差的氧化硅，去查超快速的PECVD SiO方面的文献。
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5楼2013-08-22 17:32:12
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