应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 材料测试 » PECVD生长SiO2薄膜出现褶皱
52/1返回列表
查看: 1785  |  回复: 12
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

没理想的香蕉

新虫 (初入文坛)

[求助] PECVD生长SiO2薄膜出现褶皱 已有2人参与

用PECVD生长0.5um的SiO2薄膜，从炉子里面拿出来不久就出现这种褶皱，求助大神们知道是什么原因吗？
基底是n型高掺杂Si(500um)+Au(200nm)，尺寸1.5*1.5cm

PECVD生长SiO2薄膜出现褶皱
IMG_2612.JPG
回复此楼

» 猜你喜欢
1楼 2015-01-21 14:44:39
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

没理想的香蕉

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
11楼: Originally posted by li2005235 at 2015-01-27 11:05:19
你这个情况我遇到过类似的，怎么可能退火呢，你拿出来就开裂啦，怎么有时间退火。除非有沉积系统和退火系统一体化的那种设备，估计国内很少有。这个问题的关键在于，你要分多次进行溅射。每次100nm，在停止溅射2min ...

你的意思是说长Au的时候多次溅射还是长SiO2的时候多次溅射？
赞一下 回复此楼
12楼2015-04-17 14:32:08
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 13 个回答

ddx-k

荣誉版主 (著名写手)

骑士II

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
起皮了 这是膜层脱落了吧
赞一下 回复此楼
2楼2015-01-21 16:03:12
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

没理想的香蕉

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by ddx-k at 2015-01-21 16:03:12
起皮了 这是膜层脱落了吧

应该是脱落了，我想问一下是什么原因造成脱落的。因为昨天长了3批，第1批和第3批长的都没有问题，第二批长的就起皮了。
赞一下 回复此楼
3楼2015-01-21 16:25:36
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

caoxiafei

专家顾问 (著名写手)

研发工程师-Topcon/HJT电池

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
Au(200nm)层有应力，退火消除后，做PECVD
赞一下(1人) 回复此楼
4楼2015-01-22 08:57:09
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 13 个回答
普通表情 龙 兔 虎 猫
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭