| 查看: 3226 | 回复: 16 | |||
[求助]
光刻机怎么测曝光密度？ 已有5人参与
|
|||
|
光刻机用过一段时间后，光密度就会下降，如何测出曝光密度，然后算出曝光时间？ [ 发自手机版 http://muchong.com/3g ] |
回复此楼» 猜你喜欢
修改论文，如何借助其他力量？
已经有4人回复
-
中山大学潘越教授课题组2027级推免硕士研究生招生 新增一个专业医学技术名额
已经有21人回复
-
无机化学论文润色/翻译怎么收费?
已经有108人回复
-
哈尔滨工程大学国家级青年人才-27年申请考核制博士招生（材料、化学、生物医学专业）
已经有13人回复
-
HRTEM/原位TEM/HRSTEM检测｜价格优·周期短·可加急
已经有0人回复
-
大家平时也可以交流下
已经有1人回复
-
ELSEVIER旗下投稿decision in process后with editor，应该如何理解
已经有45人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 光刻 光胶 求各种光胶参数 资料
已经有12人回复
- 电子束热蒸发问题
已经有3人回复
- 有机薄膜太阳能电池 ITO电极怎么刻蚀好？
已经有26人回复
exciting73 
金虫 (著名写手)
- 应助: 110 (高中生)
- 金币: 579.9
- 红花: 20
- 帖子: 1785
- 在线: 272.7小时
- 虫号: 1946276
- 注册: 2012-08-19
- 性别: GG
- 专业: 半导体材料
2楼2015-01-20 12:47:18
yuanxin5254
金虫 (正式写手)
- 应助: 26 (小学生)
- 金币: 1035.4
- 散金: 165
- 红花: 2
- 帖子: 302
- 在线: 105.3小时
- 虫号: 3010956
- 注册: 2014-03-02
- 性别: GG
- 专业: 半导体光电子器件
【答案】应助回帖
感谢参与，应助指数 +1
| 你要看是什么样的光刻机，问一下厂家在哪项里面。有一项是专门测光能量的，你在测的时候尽量连续多测几次，这样能更好的估计现在得光源状况。如果你是尼康的光刻机，我呢个手把手教你，要是别的牌子，操作可能不一样。 |
» 本帖已获得的红花（最新10朵）
czy4985661744楼2015-01-21 10:02:38
11楼2015-01-24 10:53:55
gqy_cdsqbyl
银虫 (著名写手)
- 应助: 1 (幼儿园)
- 金币: 11556.4
- 散金: 558
- 红花: 12
- 帖子: 2604
- 在线: 381.4小时
- 虫号: 1587873
- 注册: 2012-01-27
- 专业: 凝聚态物性 II ：电子结构
3楼2015-01-20 19:39:18
spiderman504
金虫 (小有名气)
- MN-EPI: 1
- 应助: 30 (小学生)
- 金币: 1213
- 红花: 1
- 帖子: 147
- 在线: 35小时
- 虫号: 3094198
- 注册: 2014-03-27
- 性别: GG
- 专业: 半导体光电子器件
【答案】应助回帖
感谢参与，应助指数 +1
| 买光刻机一般都配有光强计，半个小时作用稳定后，测个功率，乘以时间，就是曝光能量密度了。 |
» 本帖已获得的红花（最新10朵）
5楼2015-01-21 12:55:30
6楼2015-01-21 15:43:01
7楼2015-01-21 15:43:51
babyoflion
金虫 (著名写手)
- 应助: 183 (高中生)
- 金币: 4776.5
- 散金: 301
- 红花: 30
- 帖子: 2508
- 在线: 671.9小时
- 虫号: 2297725
- 注册: 2013-02-25
- 性别: GG
- 专业: 光学
8楼2015-01-22 21:52:45
9楼2015-01-23 21:45:55
babyoflion
金虫 (著名写手)
- 应助: 183 (高中生)
- 金币: 4776.5
- 散金: 301
- 红花: 30
- 帖子: 2508
- 在线: 671.9小时
- 虫号: 2297725
- 注册: 2013-02-25
- 性别: GG
- 专业: 光学
10楼2015-01-24 10:44:08
