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光刻机怎么测曝光密度? 已有5人参与
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光刻机用过一段时间后,光密度就会下降,如何测出曝光密度,然后算出曝光时间? [ 发自手机版 http://muchong.com/3g ] |
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exciting73
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2楼2015-01-20 12:47:18
yuanxin5254
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| 你要看是什么样的光刻机,问一下厂家在哪项里面。有一项是专门测光能量的,你在测的时候尽量连续多测几次,这样能更好的估计现在得光源状况。如果你是尼康的光刻机,我呢个手把手教你,要是别的牌子,操作可能不一样。 |
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4楼2015-01-21 10:02:38
11楼2015-01-24 10:53:55
gqy_cdsqbyl
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3楼2015-01-20 19:39:18
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| 买光刻机一般都配有光强计,半个小时作用稳定后,测个功率,乘以时间,就是曝光能量密度了。 |
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5楼2015-01-21 12:55:30

6楼2015-01-21 15:43:01

7楼2015-01-21 15:43:51
babyoflion
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