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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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czy498566174

金虫 (初入文坛)

学生党

[求助] 光刻机怎么测曝光密度? 已有5人参与

光刻机用过一段时间后,光密度就会下降,如何测出曝光密度,然后算出曝光时间?

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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毕业难啊
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exciting73

金虫 (著名写手)


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
有专门的光强度计测量。
2楼2015-01-20 12:47:18
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yuanxin5254

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
你要看是什么样的光刻机,问一下厂家在哪项里面。有一项是专门测光能量的,你在测的时候尽量连续多测几次,这样能更好的估计现在得光源状况。如果你是尼康的光刻机,我呢个手把手教你,要是别的牌子,操作可能不一样。

» 本帖已获得的红花(最新10朵)

我们坚持做一件事情,并不是这样做了有效果,而是坚信,这样做了是对的。
4楼2015-01-21 10:02:38
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4531647

金虫 (小有名气)

这个还是第一次听呢?见识下

[ 发自小木虫客户端 ]
11楼2015-01-24 10:53:55
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普通回帖

gqy_cdsqbyl

银虫 (著名写手)

能量计,光强计。
3楼2015-01-20 19:39:18
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spiderman504

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
买光刻机一般都配有光强计,半个小时作用稳定后,测个功率,乘以时间,就是曝光能量密度了。

» 本帖已获得的红花(最新10朵)

由于您的签名过于个性,小木虫暂时无法显示。。。
5楼2015-01-21 12:55:30
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czy498566174

金虫 (初入文坛)

学生党

送红花一朵
引用回帖:
4楼: Originally posted by yuanxin5254 at 2015-01-21 10:02:38
你要看是什么样的光刻机,问一下厂家在哪项里面。有一项是专门测光能量的,你在测的时候尽量连续多测几次,这样能更好的估计现在得光源状况。如果你是尼康的光刻机,我呢个手把手教你,要是别的牌子,操作可能不一样 ...

URE-2000光刻机

[ 发自小木虫客户端 ]
毕业难啊
6楼2015-01-21 15:43:01
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czy498566174

金虫 (初入文坛)

学生党

送红花一朵
引用回帖:
5楼: Originally posted by spiderman504 at 2015-01-21 12:55:30
买光刻机一般都配有光强计,半个小时作用稳定后,测个功率,乘以时间,就是曝光能量密度了。

谢谢

[ 发自小木虫客户端 ]
毕业难啊
7楼2015-01-21 15:43:51
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babyoflion

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
URE 2000成都产的? 可以测瞬时功率也可以测曝光能量值
8楼2015-01-22 21:52:45
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czy498566174

金虫 (初入文坛)

学生党

引用回帖:
8楼: Originally posted by babyoflion at 2015-01-22 21:52:45
URE 2000成都产的? 可以测瞬时功率也可以测曝光能量值

测过了,有个测密度的东西

[ 发自小木虫客户端 ]
毕业难啊
9楼2015-01-23 21:45:55
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babyoflion

金虫 (著名写手)

引用回帖:
9楼: Originally posted by czy498566174 at 2015-01-23 21:45:55
测过了,有个测密度的东西
...

密度?不过这个说法我还是第一次听说呢
10楼2015-01-24 10:44:08
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