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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 光刻机怎么测曝光密度？
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4531647

金虫 (小有名气)
这个还是第一次听呢？见识下

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11楼2015-01-24 10:53:55
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czy498566174

金虫 (初入文坛)

学生党
引用回帖:
10楼: Originally posted by babyoflion at 2015-01-24 10:44:08
密度？不过这个说法我还是第一次听说呢...

是啊，曝光密度mw/cm2

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毕业难啊
12楼2015-01-24 12:11:34
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babyoflion

金虫 (著名写手)
引用回帖:
12楼: Originally posted by czy498566174 at 2015-01-24 12:11:34
是啊，曝光密度mw/cm2
...

哦哦~~ 那个我平时都叫功率。。。光强强度什么的  嘿嘿
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13楼2015-01-24 15:40:16
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czy498566174

金虫 (初入文坛)

学生党
引用回帖:
13楼: Originally posted by babyoflion at 2015-01-24 15:40:16
哦哦~~ 那个我平时都叫功率。。。光强强度什么的  嘿嘿...

功率是w好不好

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毕业难啊
14楼2015-01-25 10:50:37
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babyoflion

金虫 (著名写手)
引用回帖:
14楼: Originally posted by czy498566174 at 2015-01-25 10:50:37
功率是w好不好
...

。。。。。功率强度，，，，或者功率密度。。。第一下看到了曝光密度没反应过来
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15楼2015-01-26 11:40:32
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zhoujun6721

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

URE-2000光刻机成都光电所的产品，用能量计或者功率计测完算一下，很多事考经验了，试几个样品就知道曝光时间了，这只是制样的一个因素
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ejzhou
16楼2015-02-03 00:32:11
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wxhy_8668

新虫 (初入文坛)
有光刻机用汞灯提供，国内总代，需要请私我联系。
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17楼2015-05-15 14:23:53
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