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czy498566174

金虫 (初入文坛)

学生党

[求助] 光刻机怎么测曝光密度? 已有5人参与

光刻机用过一段时间后,光密度就会下降,如何测出曝光密度,然后算出曝光时间?

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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毕业难啊
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zhoujun6721

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

URE-2000光刻机成都光电所的产品,用能量计或者功率计测完算一下,很多事考经验了,试几个样品就知道曝光时间了,这只是制样的一个因素
ejzhou
16楼2015-02-03 00:32:11
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