应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 光刻机怎么测曝光密度？
171/2返回列表12下一页
查看: 3074  |  回复: 16
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

czy498566174

金虫 (初入文坛)

学生党

[求助] 光刻机怎么测曝光密度？ 已有5人参与

光刻机用过一段时间后，光密度就会下降，如何测出曝光密度，然后算出曝光时间？

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
毕业难啊
1楼 2015-01-20 09:43:20
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

exciting73

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
有专门的光强度计测量。
赞一下(1人) 回复此楼
2楼2015-01-20 12:47:18
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yuanxin5254

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
你要看是什么样的光刻机，问一下厂家在哪项里面。有一项是专门测光能量的，你在测的时候尽量连续多测几次，这样能更好的估计现在得光源状况。如果你是尼康的光刻机，我呢个手把手教你，要是别的牌子，操作可能不一样。
赞一下(1人) 回复此楼

» 本帖已获得的红花（最新10朵）

czy498566174
我们坚持做一件事情，并不是这样做了有效果，而是坚信，这样做了是对的。
4楼2015-01-21 10:02:38
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

4531647

金虫 (小有名气)
这个还是第一次听呢？见识下

[ 发自小木虫客户端 ]
赞一下(1人) 回复此楼
11楼2015-01-24 10:53:55
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
普通回帖

gqy_cdsqbyl

银虫 (著名写手)
能量计，光强计。
回复此楼
3楼2015-01-20 19:39:18
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

spiderman504

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
买光刻机一般都配有光强计，半个小时作用稳定后，测个功率，乘以时间，就是曝光能量密度了。
赞一下 回复此楼

» 本帖已获得的红花（最新10朵）

czy498566174
由于您的签名过于个性，小木虫暂时无法显示。。。
5楼2015-01-21 12:55:30
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

czy498566174

金虫 (初入文坛)

学生党
送红花一朵
引用回帖:
4楼: Originally posted by yuanxin5254 at 2015-01-21 10:02:38
你要看是什么样的光刻机，问一下厂家在哪项里面。有一项是专门测光能量的，你在测的时候尽量连续多测几次，这样能更好的估计现在得光源状况。如果你是尼康的光刻机，我呢个手把手教你，要是别的牌子，操作可能不一样 ...

URE-2000光刻机

[ 发自小木虫客户端 ]
回复此楼
毕业难啊
6楼2015-01-21 15:43:01
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

czy498566174

金虫 (初入文坛)

学生党
送红花一朵
引用回帖:
5楼: Originally posted by spiderman504 at 2015-01-21 12:55:30
买光刻机一般都配有光强计，半个小时作用稳定后，测个功率，乘以时间，就是曝光能量密度了。

谢谢

[ 发自小木虫客户端 ]
回复此楼
毕业难啊
7楼2015-01-21 15:43:51
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

babyoflion

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
URE 2000成都产的？ 可以测瞬时功率也可以测曝光能量值
赞一下 回复此楼
8楼2015-01-22 21:52:45
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

czy498566174

金虫 (初入文坛)

学生党
引用回帖:
8楼: Originally posted by babyoflion at 2015-01-22 21:52:45
URE 2000成都产的？ 可以测瞬时功率也可以测曝光能量值

测过了，有个测密度的东西

[ 发自小木虫客户端 ]
赞一下 回复此楼
毕业难啊
9楼2015-01-23 21:45:55
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

babyoflion

金虫 (著名写手)
引用回帖:
9楼: Originally posted by czy498566174 at 2015-01-23 21:45:55
测过了，有个测密度的东西
...

密度？不过这个说法我还是第一次听说呢
赞一下 回复此楼
10楼2015-01-24 10:44:08
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 czy498566174 的主题更新
171/2返回列表12下一页
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[基金申请] 2027广东省杰青 +3 奶牛小黑 2026-08-15 6/300 2026-08-16 20:07 by 奶牛小黑
[基金申请] 哪位老哥知道今年的国自然具体哪一天放榜？ +9 Ldrop2023 2026-08-13 9/450 2026-08-16 13:24 by wukun_007
[基金申请] 咱们一起用铁证分析2026国家社科基金中标与否 +7 启萌科技 2026-08-12 26/1300 2026-08-16 12:35 by 启萌科技
[基金申请] 有时候，自然基金真的不能太认真 （我的申报经验） +10 majunge000 2026-08-11 12/600 2026-08-16 08:18 by xli1984
[精细化工] 招聘 金属平磨液，抛光液研发工程师 +3 小天0311 2026-08-14 3/150 2026-08-16 07:31 by H9PLUS
[基金申请] filecode=后面第一个是大写字母 +6 wangze12014 2026-08-14 7/350 2026-08-15 20:12 by gltch
[基金申请] filecode +8 cratir 2026-08-14 12/600 2026-08-15 18:08 by zyfgau
[基金申请] 小木虫上这么多卖论文的，真有人买论文么？感觉没必要啊 +12 Tide man 2026-08-10 13/650 2026-08-15 16:34 by 氺木
[基金申请] 各位道友，我要去昆明玩几天，回来见。 +7 Tide man 2026-08-14 8/400 2026-08-15 01:11 by arzu_hma
[基金申请] 是这周出结果还是下周出结果？ +4 yuleib84 2026-08-11 4/200 2026-08-14 23:05 by lfy8008
[硕博家园] 读博的好处 +4 lnee 2026-08-11 4/200 2026-08-14 10:20 by ahsoarli
[基金申请] filecode +15 documentary 2026-08-10 17/850 2026-08-14 10:08 by kissu88
[基金申请] FileCode能看出啥？ +10 要乐观耀哥 2026-08-10 32/1600 2026-08-14 09:37 by 要乐观耀哥
[基金申请] 静等基金结果 +8 gjjjzhong 2026-08-10 21/1050 2026-08-13 17:56 by 且听虎啸
[基金申请] 分享一下我之前已中青C的计划书的filecode +4 布布和一二 2026-08-11 5/250 2026-08-13 12:56 by cratir
[基金申请] 结合人工智能，周易传统文化，filecode打分制来了，3分以上希望很大。 +3 Tide man 2026-08-12 4/200 2026-08-13 08:35 by ZJTJZ
[基金申请] 2019年青年基金涵评意见，大家看看几个A，几个B? +11 Tide man 2026-08-11 11/550 2026-08-13 07:35 by 撸猫猫
[基金申请] 什么时候出结果，有咨询渠道？？？ +3 Tide man 2026-08-11 3/150 2026-08-11 17:54 by kudofaye
[基金申请] 国自然结果 +4 Vierhys 2026-08-10 8/400 2026-08-10 15:06 by Vierhys
[基金申请] 据悉今年马上要出结果了 +7 瞬息宇宙 2026-08-10 8/400 2026-08-10 12:42 by Vivilian
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭