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光刻机怎么测曝光密度？ 已有5人参与
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光刻机用过一段时间后，光密度就会下降，如何测出曝光密度，然后算出曝光时间？ [ 发自手机版 http://muchong.com/3g ] |
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送红花一朵 7楼2015-01-21 15:43:51
exciting73 
金虫 (著名写手)
- 应助: 110 (高中生)
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- 红花: 20
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- 专业: 半导体材料
2楼2015-01-20 12:47:18
gqy_cdsqbyl
银虫 (著名写手)
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- 专业: 凝聚态物性 II ：电子结构
3楼2015-01-20 19:39:18
yuanxin5254
金虫 (正式写手)
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- 性别: GG
- 专业: 半导体光电子器件
【答案】应助回帖
感谢参与，应助指数 +1
| 你要看是什么样的光刻机，问一下厂家在哪项里面。有一项是专门测光能量的，你在测的时候尽量连续多测几次，这样能更好的估计现在得光源状况。如果你是尼康的光刻机，我呢个手把手教你，要是别的牌子，操作可能不一样。 |
» 本帖已获得的红花（最新10朵）
4楼2015-01-21 10:02:38
