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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 光刻机怎么测曝光密度？
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czy498566174

金虫 (初入文坛)

学生党

[求助] 光刻机怎么测曝光密度？ 已有5人参与

光刻机用过一段时间后，光密度就会下降，如何测出曝光密度，然后算出曝光时间？

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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毕业难啊
1楼 2015-01-20 09:43:20
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czy498566174

金虫 (初入文坛)

学生党
引用回帖:
8楼: Originally posted by babyoflion at 2015-01-22 21:52:45
URE 2000成都产的？ 可以测瞬时功率也可以测曝光能量值

测过了，有个测密度的东西

[ 发自小木虫客户端 ]
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毕业难啊
9楼2015-01-23 21:45:55
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exciting73

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
有专门的光强度计测量。
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2楼2015-01-20 12:47:18
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gqy_cdsqbyl

银虫 (著名写手)
能量计，光强计。
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3楼2015-01-20 19:39:18
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yuanxin5254

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
你要看是什么样的光刻机，问一下厂家在哪项里面。有一项是专门测光能量的，你在测的时候尽量连续多测几次，这样能更好的估计现在得光源状况。如果你是尼康的光刻机，我呢个手把手教你，要是别的牌子，操作可能不一样。
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» 本帖已获得的红花（最新10朵）

czy498566174
我们坚持做一件事情，并不是这样做了有效果，而是坚信，这样做了是对的。
4楼2015-01-21 10:02:38
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