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czy498566174

金虫 (初入文坛)

学生党

[求助] 光刻机怎么测曝光密度? 已有5人参与

光刻机用过一段时间后,光密度就会下降,如何测出曝光密度,然后算出曝光时间?

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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毕业难啊
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czy498566174

金虫 (初入文坛)

学生党

引用回帖:
8楼: Originally posted by babyoflion at 2015-01-22 21:52:45
URE 2000成都产的? 可以测瞬时功率也可以测曝光能量值

测过了,有个测密度的东西

[ 发自小木虫客户端 ]
毕业难啊
9楼2015-01-23 21:45:55
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查看全部 17 个回答

exciting73

金虫 (著名写手)


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
有专门的光强度计测量。
2楼2015-01-20 12:47:18
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gqy_cdsqbyl

银虫 (著名写手)

能量计,光强计。
3楼2015-01-20 19:39:18
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yuanxin5254

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
你要看是什么样的光刻机,问一下厂家在哪项里面。有一项是专门测光能量的,你在测的时候尽量连续多测几次,这样能更好的估计现在得光源状况。如果你是尼康的光刻机,我呢个手把手教你,要是别的牌子,操作可能不一样。

» 本帖已获得的红花(最新10朵)

我们坚持做一件事情,并不是这样做了有效果,而是坚信,这样做了是对的。
4楼2015-01-21 10:02:38
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