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yc8662新虫 (小有名气)
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[交流]
四点法测出来的薄膜电阻包含衬底的信息吗？已有3人参与
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一直以来有一个问题，同样成分的薄膜，长在导电衬底上和绝缘沉底上用四点法测出来的体电阻值为何不一样？ 四点法测薄膜体电阻，电流走向是什么样的？ 是仅仅会流过薄膜表层的一部分，还是整个样品都会流过？ 如果衬底导电比较好的话，电流会不会通过衬底？ 如果会流过衬底的话，那用测出来的电阻值去计算电阻率的话，薄膜的厚度是不是应该加上衬底的厚度？ 比如说生长在SrRuO3上的CoFe2O4， 薄膜厚度100nm，衬底厚度0.5mm, 测出来四点法电阻值为300Ohm，计算电阻率时用公式R=ρ*L/S，此时的L是不是应该为0.5mm而不是100nm? 或者说我需要考虑两部分电阻，R=ρ1*L1/S1+ρ2*L2/S2。1和2分别代表薄膜和衬底，根据衬底的电阻率，计算出衬底电阻，从R中扣除掉，再得到薄膜的电阻率ρ1. 谢谢指教！ |
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