24小时热门版块排行榜    

查看: 2313  |  回复: 14

小达达达

银虫 (正式写手)

[求助] 想在光刻完的半导体上沉积2μm左右厚的Ni/Au薄膜,还有什么办法呢? 已有6人参与

想在光刻完的半导体上沉积2μm左右厚的Ni/Au薄膜,使用溅射的厚度不会很厚(一般200nm左右),还有什么办法呢?
回复此楼
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wanghuaxing

禁虫 (小有名气)

本帖内容被屏蔽

2楼2015-01-09 21:41:15
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

caoxiafei

专家顾问 (著名写手)

研发工程师-Topcon/HJT电池

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
电化学沉积法,可以试试,在网上直接购买现成Ni的电镀液,Au的溅射就好了。
需要一个恒电位仪,或电化学工作站,3电极体系的
3楼2015-01-12 08:48:41
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

巴巴罗萨

铁虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

溅射可以中间冷却一下吧。
或者用蒸镀也可以,不过蒸镀的致密性和黏附性不如溅射。
广州索益半导体可以提供蒸镀或者溅射服务的。
4楼2015-01-12 13:49:05
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

小达达达

银虫 (正式写手)

引用回帖:
3楼: Originally posted by caoxiafei at 2015-01-12 08:48:41
电化学沉积法,可以试试,在网上直接购买现成Ni的电镀液,Au的溅射就好了。
需要一个恒电位仪,或电化学工作站,3电极体系的

之前没用电镀做过金属,请教一下:电镀的速率是不是不太好控制啊,随后也可以顺利剥离吗?胶厚一般得多厚呢?

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
5楼2015-01-12 15:56:02
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

小达达达

银虫 (正式写手)

引用回帖:
4楼: Originally posted by 巴巴罗萨 at 2015-01-12 13:49:05
溅射可以中间冷却一下吧。
或者用蒸镀也可以,不过蒸镀的致密性和黏附性不如溅射。
广州索益半导体可以提供蒸镀或者溅射服务的。

是一步光刻后
实现吗?那样的话沉积厚的金属之后,是不是不容易剥离了呢?

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
6楼2015-01-12 15:57:39
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

小达达达

银虫 (正式写手)

引用回帖:
4楼: Originally posted by 巴巴罗萨 at 2015-01-12 13:49:05
溅射可以中间冷却一下吧。
或者用蒸镀也可以,不过蒸镀的致密性和黏附性不如溅射。
广州索益半导体可以提供蒸镀或者溅射服务的。

是一步光刻后
实现吗?那样的话沉积厚的金属之后,是不是不容易剥离了呢?

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
7楼2015-01-12 15:58:03
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

caoxiafei

专家顾问 (著名写手)

研发工程师-Topcon/HJT电池

引用回帖:
5楼: Originally posted by 小达达达 at 2015-01-12 15:56:02
之前没用电镀做过金属,请教一下:电镀的速率是不是不太好控制啊,随后也可以顺利剥离吗?胶厚一般得多厚呢?
...

速率可以控制的,如果你的电极的体积是已知的情况下,是非常容易控制的;不知道是否容易剥离,冷溶液做的应该结合力不太好!
8楼2015-01-12 20:24:35
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

li2005235

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

这得看你的光刻胶是多厚的,依据情况来用剥离法。你如果想沉积2um厚的金属薄膜,一般情况下光刻胶的厚度至少在3um。其实,我们在用剥离法做图形时,光刻胶的厚度应该在你沉积薄膜厚度的3倍。这样剥离的图形会好很多,尤其是对于线宽比较小的情况。但是,我以前做过光刻胶是1.5um,剥离1um的Ni膜,剥离的效果还是可以的。所以,你可以试一下,尽量让光刻胶的厚度在3um以上。比如用AZ5218一类的,AZ5218光刻胶厚度可以在3um左右,你得试一下,我感觉是可以的。有什么问题可以问我,我对这个有些了解。
9楼2015-01-27 22:05:58
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

中大崔老师

捐助贵宾 (初入文坛)

穿越千年: 屏蔽内容, 违规存档, 本版不支持广告宣传,感谢您的应助,请私下pm楼主相关信息 2015-03-06 17:56:33
本帖内容被屏蔽

10楼2015-03-05 23:32:26
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 小达达达 的主题更新
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 350求调剂 +6 weudhdk 2026-03-19 6/300 2026-03-23 15:47 by tangyuan0840221
[考研] 0854 考研调剂 招生了!AI 方向 +3 pk3725069 2026-03-19 14/700 2026-03-23 14:44 by Jack_333
[考研] 307求调剂 +3 余意卿 2026-03-21 3/150 2026-03-23 10:32 by Iveryant
[考研] 323求调剂 +6 洼小桶 2026-03-18 6/300 2026-03-23 00:29 by king123!
[考研] 一志愿武理材料工程348求调剂 +5  ̄^ ̄゜汗 2026-03-19 7/350 2026-03-22 19:44 by 公瑾逍遥
[考研] 一志愿华中农业071010,总分320求调剂 +5 困困困困坤坤 2026-03-20 6/300 2026-03-22 17:41 by hxsm
[考研] 324求调剂 +6 lucky呀呀呀鸭 2026-03-20 6/300 2026-03-22 16:01 by ColorlessPI
[考研] 298求调剂一志愿211 +3 上岸6666@ 2026-03-20 3/150 2026-03-22 15:50 by ColorlessPI
[考研] 299求调剂 +5 shxchem 2026-03-20 7/350 2026-03-21 17:09 by ColorlessPI
[考研] 一志愿重庆大学085700资源与环境总分308求调剂 +7 墨墨漠 2026-03-20 7/350 2026-03-21 16:36 by barlinike
[考研] 085601调剂 358分 +3 zzzzggh 2026-03-20 4/200 2026-03-21 10:21 by luoyongfeng
[考研] 南昌大学材料专硕311分求调剂 +6 77chaselx 2026-03-20 6/300 2026-03-21 07:24 by JourneyLucky
[考研] 070300化学319求调剂 +7 锦鲤0909 2026-03-17 7/350 2026-03-21 03:46 by JourneyLucky
[考研] 一志愿西南交大,求调剂 +5 材化逐梦人 2026-03-18 5/250 2026-03-21 00:26 by JourneyLucky
[考研] 材料专硕英一数二306 +7 z1z2z3879 2026-03-18 7/350 2026-03-20 23:48 by JourneyLucky
[考研] 321求调剂 +9 何润采123 2026-03-18 11/550 2026-03-20 23:19 by JourneyLucky
[考研] 求调剂 +3 @taotao 2026-03-20 3/150 2026-03-20 19:35 by JourneyLucky
[考研] 广西大学家禽遗传育种课题组2026年硕士招生(接收计算机专业调剂) +3 123阿标 2026-03-17 3/150 2026-03-20 15:58 by 飞行琦
[考研] 本科郑州大学物理学院,一志愿华科070200学硕,346求调剂 +4 我不是一根葱 2026-03-18 4/200 2026-03-19 09:11 by 浮云166
[考博] 26博士申请 +3 1042136743 2026-03-17 3/150 2026-03-17 23:30 by 轻松不少随
信息提示
请填处理意见