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铁杆木虫 (著名写手)


【答案】应助回帖

蒸发最容易了,还容易剥离。
11楼2015-03-07 00:30:57
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中大崔老师

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副教授


【答案】应助回帖

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2微米镍和金,通常用化学镀和电镀。既然已经光刻了,有图形了,建议您先化学镀镍,再置换浸金,比较好。这样镍是镍磷合金,金层0.3微米,可以绑定。

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
12楼2015-03-07 18:00:52
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中大崔老师

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副教授


【答案】应助回帖

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有商品的化学镀镍和浸金液买的。电镀远比想象的复杂,很多经验因素,尤其有光刻胶时。使在搞不好,我愿意帮你,我是电镀专业的博士。QQ2418907207

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
13楼2015-03-07 23:36:05
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中大崔老师

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副教授


【答案】应助回帖

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物理成膜无选择性,化学成膜可以选择区域成膜。我们实验室在做这一研究。

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14楼2015-03-07 23:39:35
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才才小

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

请问楼主找到方法了吗,我最近也是想做2um厚的金属薄膜,而且需要图形化,但是溅射做完后,光刻胶很难剥离,不知道有没有别的好方法
15楼2018-05-18 16:06:41
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