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PLD(脉冲激光沉积)生长AZO薄膜求助
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gezi_shan
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虫号: 1997477
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性别: GG
专业: 半导体材料
[
求助
]
PLD(脉冲激光沉积)生长AZO薄膜求助
用PLD法在 Cu2O薄膜(电沉积值得)上生长AZO薄膜时,出现沉积不上去的情况。
而作为对比直接在石英玻璃上生长的AZO薄膜正常,电学性能也正常。说明问题就出在Cu2O薄膜上,但又想不出是什么问题。
希望大家能提供点意见。下图左边为在Cu2O上生长的,从腔体里拿出一会儿就变成这样了,粉末一样。右边为玻璃上生长的。
IMG_20141210_150807.jpg
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1楼
2014-12-10 15:32:20
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