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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 怎样提高koh腐蚀sio2与si的腐蚀速率比
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sodium_82

新虫 (初入文坛)

[求助] 怎样提高koh腐蚀sio2与si的腐蚀速率比已有1人参与

sio2与si在koh中的腐蚀速率比跟什么有关呢

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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1楼2014-11-28 22:08:31
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sodium_82

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by exciting73 at 2014-11-29 10:08:33
你是希望只蚀刻其中一种材料吗

对呀，只想刻蚀硅，用二氧化硅屏蔽，硅要腐蚀380微米，速度60u/h,怎样的条件能实现呢

[ 发自小木虫客户端 ]
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3楼2014-12-01 10:48:28
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exciting73

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
你是希望只蚀刻其中一种材料吗
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2楼2014-11-29 10:08:33
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exciting73

金虫 (著名写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by sodium_82 at 2014-12-01 10:48:28
对呀，只想刻蚀硅，用二氧化硅屏蔽，硅要腐蚀380微米，速度60u/h,怎样的条件能实现呢
...

是单晶硅还是多晶硅？单晶硅还有可能。有商品化的产品可用
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4楼2014-12-01 21:05:22
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sodium_82

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
4楼: Originally posted by exciting73 at 2014-12-01 21:05:22
是单晶硅还是多晶硅？单晶硅还有可能。有商品化的产品可用...

单晶硅，什么商品化产品？

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5楼2014-12-03 16:11:30
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