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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 合成表征 » 3D显微镜测试膜厚
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随心所动

银虫 (小有名气)

[求助] 3D显微镜测试膜厚 已有1人参与

各位虫友，哪位比较了解3D显微镜，我现在用其测量一种薄膜膜厚，结果不准确，想请问可能的原因？谢谢大家
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随心奔跑，自由是方向
1楼 2014-11-13 23:42:03
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
随心所动: 金币+5, ★★★很有帮助 2014-11-17 22:12:53
引用回帖:
3楼: Originally posted by 随心所动 at 2014-11-14 20:01:22
薄膜厚度有6微米左右，还有就是这种薄膜表面比较粗糙，会不会和薄膜表面的粗糙度有关？我测另一种表面光滑的材料就比较准确。...

和粗糙度直接相关。大粗糙度会形成漫反射，导致返回的光信息不完整。
像你这种情况，用台阶仪测量比较好。
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4楼2014-11-17 11:41:18
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mochi1029

铜虫 (初入文坛)
会不会是激光发生干涉导致测不准？薄膜的厚度估计有多少？
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2楼2014-11-14 12:20:36
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随心所动

银虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by mochi1029 at 2014-11-14 12:20:36
会不会是激光发生干涉导致测不准？薄膜的厚度估计有多少？

薄膜厚度有6微米左右，还有就是这种薄膜表面比较粗糙，会不会和薄膜表面的粗糙度有关？我测另一种表面光滑的材料就比较准确。
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随心奔跑，自由是方向
3楼2014-11-14 20:01:22
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随心所动

银虫 (小有名气)
引用回帖:
4楼: Originally posted by yswyx at 2014-11-17 11:41:18
和粗糙度直接相关。大粗糙度会形成漫反射，导致返回的光信息不完整。
像你这种情况，用台阶仪测量比较好。...

原来是这样，谢谢你的回答。我测了几种不同粗糙度的样品，发现测得的结果和台阶仪有不同程度的偏差，所以我也怀疑和样品表面的粗糙度相关。
你也有这方面的经验吗？
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随心奔跑，自由是方向
5楼2014-11-17 22:12:36
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