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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料工程 » 其他 » 多弧离子镀镀膜问题
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youyucch

铁杆木虫 (小有名气)

[求助] 多弧离子镀镀膜问题 已有2人参与

本虫是用多弧离子镀在硬质合金上镀TiN膜层的，但是成品上老是有这种黑色的物质，而且开高偏压清洗工件的时候老是短路，低压就不会，探索了很久没找到原因，求大神指教。
样品如图所示。

多弧离子镀镀膜问题
IMG_20140929_162633.jpg


多弧离子镀镀膜问题-1
IMG_20140929_162703.jpg
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时刻准备着
1楼 2014-09-29 16:34:39
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shunsun

铁虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
youyucch: 金币+8, ★★★很有帮助, 虽然没有完全解决问题，还是感谢 2014-10-14 15:17:08
应该是短路造成的。
如果高压短路，低压正常，说明转架与炉体的绝缘不是很好。你很好用摇表检查下。两者之间的电阻应该达到50M欧姆。
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糟心的工作！！！！！！！！！！！！
2楼2014-10-08 11:13:33
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youyucch

铁杆木虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by shunsun at 2014-10-08 11:13:33
应该是短路造成的。
如果高压短路，低压正常，说明转架与炉体的绝缘不是很好。你很好用摇表检查下。两者之间的电阻应该达到50M欧姆。

我测了一下，有26M，如果绝缘不好，那应该如何做呢
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时刻准备着
3楼2014-10-09 15:05:46
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shunsun

铁虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by youyucch at 2014-10-09 15:05:46
我测了一下，有26M，如果绝缘不好，那应该如何做呢...

如果是绝缘不好，检查绝缘用的聚四氟乙烯的材质，距离，特别注意绝缘处的碎屑，要清理干净。当然还有个可能，你的偏压的电源高压输出本身有问题你得确认下。
不知道所谓的黑色，是膜层是黑色，还是根本没有镀上。我基本上都没有碰到你说的情况。
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糟心的工作！！！！！！！！！！！！
4楼2014-10-10 09:52:52
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youyucch

铁杆木虫 (小有名气)
引用回帖:
4楼: Originally posted by shunsun at 2014-10-10 09:52:52
如果是绝缘不好，检查绝缘用的聚四氟乙烯的材质，距离，特别注意绝缘处的碎屑，要清理干净。当然还有个可能，你的偏压的电源高压输出本身有问题你得确认下。
不知道所谓的黑色，是膜层是黑色，还是根本没有镀上。 ...

我镀的是TiN，按理来说是金黄色的，基底是白色，这个黑色的东西，困扰了我好久，还有就是不止是样品，真空室里面也是每次镀膜后，都会有黑色的东西。
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时刻准备着
5楼2014-10-10 16:25:44
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shunsun

铁虫 (小有名气)
引用回帖:
5楼: Originally posted by youyucch at 2014-10-10 16:25:44
我镀的是TiN，按理来说是金黄色的，基底是白色，这个黑色的东西，困扰了我好久，还有就是不止是样品，真空室里面也是每次镀膜后，都会有黑色的东西。...

哦，这个有点诡异。那你那个设备用的是什么泵抽气，或者是清晰出了问题。我怀疑是油污染。
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糟心的工作！！！！！！！！！！！！
6楼2014-10-11 11:19:41
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shunsun

铁虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

如果真空室到处都有，我认为是油污染之类的，不过没有看到，不好判断。
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糟心的工作！！！！！！！！！！！！
7楼2014-10-11 11:49:22
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youyucch

铁杆木虫 (小有名气)
引用回帖:
6楼: Originally posted by shunsun at 2014-10-11 11:19:41
哦，这个有点诡异。那你那个设备用的是什么泵抽气，或者是清晰出了问题。我怀疑是油污染。...

如果是油污染的话，那就抽不起真空才对啊，但是抽真空是正常的
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时刻准备着
8楼2014-10-11 15:01:25
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shunsun

铁虫 (小有名气)
引用回帖:
8楼: Originally posted by youyucch at 2014-10-11 15:01:25
如果是油污染的话，那就抽不起真空才对啊，但是抽真空是正常的...

污染了不一定就抽不了真空，如果你的泵抽气能力较大，照样可以抽，只不过极限真空低点。平时工作也不会抽到极限真空的。
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糟心的工作！！！！！！！！！！！！
9楼2014-10-13 11:19:45
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一世长风

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by shunsun at 2014-10-08 11:13:33
应该是短路造成的。
如果高压短路，低压正常，说明转架与炉体的绝缘不是很好。你很好用摇表检查下。两者之间的电阻应该达到50M欧姆。

应该是控制电压的二极管出现问题，才不能加高偏压
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10楼2015-01-05 17:48:21
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