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youyucch

铁杆木虫 (小有名气)

[求助] 多弧离子镀镀膜问题 已有2人参与

本虫是用多弧离子镀在硬质合金上镀TiN膜层的,但是成品上老是有这种黑色的物质,而且开高偏压清洗工件的时候老是短路,低压就不会,探索了很久没找到原因,求大神指教。
样品如图所示。

多弧离子镀镀膜问题
IMG_20140929_162633.jpg


多弧离子镀镀膜问题-1
IMG_20140929_162703.jpg
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shunsun

铁虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
youyucch: 金币+8, ★★★很有帮助, 虽然没有完全解决问题,还是感谢 2014-10-14 15:17:08
应该是短路造成的。
如果高压短路,低压正常,说明转架与炉体的绝缘不是很好。你很好用摇表检查下。两者之间的电阻应该达到50M欧姆。
糟心的工作!!!!!!!!!!!!
2楼2014-10-08 11:13:33
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youyucch

铁杆木虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by shunsun at 2014-10-08 11:13:33
应该是短路造成的。
如果高压短路,低压正常,说明转架与炉体的绝缘不是很好。你很好用摇表检查下。两者之间的电阻应该达到50M欧姆。

我测了一下,有26M,如果绝缘不好,那应该如何做呢
时刻准备着
3楼2014-10-09 15:05:46
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shunsun

铁虫 (小有名气)

引用回帖:
3楼: Originally posted by youyucch at 2014-10-09 15:05:46
我测了一下,有26M,如果绝缘不好,那应该如何做呢...

如果是绝缘不好,检查绝缘用的聚四氟乙烯的材质,距离,特别注意绝缘处的碎屑,要清理干净。当然还有个可能,你的偏压的电源高压输出本身有问题你得确认下。
不知道所谓的黑色,是膜层是黑色,还是根本没有镀上。我基本上都没有碰到你说的情况。
糟心的工作!!!!!!!!!!!!
4楼2014-10-10 09:52:52
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youyucch

铁杆木虫 (小有名气)

引用回帖:
4楼: Originally posted by shunsun at 2014-10-10 09:52:52
如果是绝缘不好,检查绝缘用的聚四氟乙烯的材质,距离,特别注意绝缘处的碎屑,要清理干净。当然还有个可能,你的偏压的电源高压输出本身有问题你得确认下。
不知道所谓的黑色,是膜层是黑色,还是根本没有镀上。 ...

我镀的是TiN,按理来说是金黄色的,基底是白色,这个黑色的东西,困扰了我好久,还有就是不止是样品,真空室里面也是每次镀膜后,都会有黑色的东西。
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5楼2014-10-10 16:25:44
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shunsun

铁虫 (小有名气)

引用回帖:
5楼: Originally posted by youyucch at 2014-10-10 16:25:44
我镀的是TiN,按理来说是金黄色的,基底是白色,这个黑色的东西,困扰了我好久,还有就是不止是样品,真空室里面也是每次镀膜后,都会有黑色的东西。...

哦,这个有点诡异。那你那个设备用的是什么泵抽气,或者是清晰出了问题。我怀疑是油污染。
糟心的工作!!!!!!!!!!!!
6楼2014-10-11 11:19:41
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shunsun

铁虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

如果真空室到处都有,我认为是油污染之类的,不过没有看到,不好判断。
糟心的工作!!!!!!!!!!!!
7楼2014-10-11 11:49:22
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youyucch

铁杆木虫 (小有名气)

引用回帖:
6楼: Originally posted by shunsun at 2014-10-11 11:19:41
哦,这个有点诡异。那你那个设备用的是什么泵抽气,或者是清晰出了问题。我怀疑是油污染。...

如果是油污染的话,那就抽不起真空才对啊,但是抽真空是正常的
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8楼2014-10-11 15:01:25
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shunsun

铁虫 (小有名气)

引用回帖:
8楼: Originally posted by youyucch at 2014-10-11 15:01:25
如果是油污染的话,那就抽不起真空才对啊,但是抽真空是正常的...

污染了不一定就抽不了真空,如果你的泵抽气能力较大,照样可以抽,只不过极限真空低点。平时工作也不会抽到极限真空的。
糟心的工作!!!!!!!!!!!!
9楼2014-10-13 11:19:45
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一世长风

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by shunsun at 2014-10-08 11:13:33
应该是短路造成的。
如果高压短路,低压正常,说明转架与炉体的绝缘不是很好。你很好用摇表检查下。两者之间的电阻应该达到50M欧姆。

应该是控制电压的二极管出现问题,才不能加高偏压
10楼2015-01-05 17:48:21
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