[求助] 多弧离子镀镀膜问题 已有2人参与

本虫是用多弧离子镀在硬质合金上镀TiN膜层的，但是成品上老是有这种黑色的物质，而且开高偏压清洗工件的时候老是短路，低压就不会，探索了很久没找到原因，求大神指教。 样品如图所示。 IMG_20140929_162633.jpg IMG_20140929_162703.jpg

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