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等离子体密度计算
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christy婵
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]
等离子体密度计算
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有没有人计算过设备腔体里面的等离子体强度?或者说测量过!比如MPCVD里的石英chamber,想要知道各个地方的等离子强度,这个有可能吗?
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sunshine
1楼
2014-09-25 11:03:08
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christy婵
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引用回帖:
6楼
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Originally posted by
yc-英超
at 2014-09-25 13:50:00
看看刻蚀深度
那只是定性的,如何定量是个问题。。。
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sunshine
8楼
2014-09-25 18:32:10
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aabuzhangjun
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祝福,祈福,愿楼主今后一切顺利,愿自己及女朋友工作顺利,祈福
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7楼
2014-09-25 16:04:58
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专业: 脑血管结构、功能异常及相
路过顺便顶一下 祝楼主一切顺利!
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12楼
2014-09-26 18:42:41
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感谢参与,应助指数 +1
我只听说过测臭氧浓度的。哪些活性自由基寿命那么短,怎么测啊
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13楼
2014-09-27 11:23:40
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