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christy婵

新虫 (初入文坛)

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[求助] 等离子体密度计算已有2人参与

有没有人计算过设备腔体里面的等离子体强度？或者说测量过！比如MPCVD里的石英chamber，想要知道各个地方的等离子强度，这个有可能吗？

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sunshine

1楼 2014-09-25 11:03:08

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aabuzhangjun

新虫 (知名作家)

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祝福，祈福，愿楼主今后一切顺利，愿自己及女朋友工作顺利，祈福

7楼2014-09-25 16:04:58

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查看全部 28 个回答

christy婵

新虫 (初入文坛)

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专业: 半导体电子器件

引用回帖:

6楼: Originally posted by yc-英超 at 2014-09-25 13:50:00
看看刻蚀深度

那只是定性的，如何定量是个问题。。。

sunshine

8楼2014-09-25 18:32:10

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myyounger

至尊木虫 (文坛精英)

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路过顺便顶一下祝楼主一切顺利！

12楼2014-09-26 18:42:41

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碧凝

木虫 (正式写手)

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【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1

我只听说过测臭氧浓度的。哪些活性自由基寿命那么短，怎么测啊

13楼2014-09-27 11:23:40

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