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等离子体密度计算
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christy婵
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等离子体密度计算
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有没有人计算过设备腔体里面的等离子体强度?或者说测量过!比如MPCVD里的石英chamber,想要知道各个地方的等离子强度,这个有可能吗?
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sunshine
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2014-09-25 11:03:08
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dmbb
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燕山未勒
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yc-英超
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6楼
2014-09-25 13:50:00
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aabuzhangjun
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祝福,祈福,愿楼主今后一切顺利,愿自己及女朋友工作顺利,祈福
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7楼
2014-09-25 16:04:58
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christy婵
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6楼
:
Originally posted by
yc-英超
at 2014-09-25 13:50:00
看看刻蚀深度
那只是定性的,如何定量是个问题。。。
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sunshine
8楼
2014-09-25 18:32:10
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mzhyan
9楼
2014-09-25 20:32:37
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zx20032974
10楼
2014-09-26 12:46:20
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