应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

Znn3bq.jpeg
小木虫论坛-学术科研互动平台 » 网络生活区 » 有奖问答 » 学术帮助 » 怎样刻蚀 掉基于ALD生长的20nm氧化铝薄膜？
汕头大学海洋科学接受调剂
51/1返回列表
查看: 2026  |  回复: 6
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
本帖产生 1 个 博学EPI ，点击这里进行查看
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

撒兰斯

新虫 (著名写手)

[求助] 怎样刻蚀 掉基于ALD生长的20nm氧化铝薄膜？

我用ALD长的20nm氧化铝，现在想去掉它，但不要破坏它下面的石墨烯（底层石墨烯只有1nm后），应该怎么办呢？如果是湿法刻蚀，请给出溶液配比，刻蚀速率，和大概的刻蚀时间。。。。对了，该片子的基底是Si
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
1楼 2014-09-15 13:51:33
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

撒兰斯

新虫 (著名写手)
引用回帖:
4楼: Originally posted by senpeng at 2014-09-20 14:04:41
楼主是哪高校的？

中北大学
回复此楼
5楼2014-10-26 16:47:36
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 7 个回答

lilinxian461

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
撒兰斯: 金币+5, 博学EPI+1, ★有帮助 2014-10-26 16:48:02
既然下面是石墨烯，为什么不试试用酸去腐蚀，应该很方便吧，时间长了也不怕石墨烯有问题啊，氧化铝又很活泼，随便弄点酸就能腐蚀掉啊，我以前学材料化学的，现在是做光学工程方面的半导体，不知道说的对不对，
赞一下 回复此楼
2楼2014-09-15 19:37:16
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

撒兰斯

新虫 (著名写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by lilinxian461 at 2014-09-14 23:37:16
既然下面是石墨烯，为什么不试试用酸去腐蚀，应该很方便吧，时间长了也不怕石墨烯有问题啊，氧化铝又很活泼，随便弄点酸就能腐蚀掉啊，我以前学材料化学的，现在是做光学工程方面的半导体，不知道说的对不对，

我也想用酸腐蚀，可是，有一部分氧化铝我是想保留下来的，这部分很小面积，也就几微米吧，我就怕酸调到的不好，给过腐蚀了，我现在想知道算溶液的配比是多少，比如盐酸与水几比几，腐蚀速率是多少呢？嘿嘿，谢谢你啊
赞一下 回复此楼
3楼2014-09-15 22:31:52
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

senpeng

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

楼主是哪高校的？

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
赞一下 回复此楼
4楼2014-09-21 10:04:41
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 7 个回答
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 一志愿鲁东大学071000生物学学硕初试分数276求调剂 +8 慕绝cc 2026-04-09 8/400 2026-04-13 14:08 by 张zhihao
[考研] 2026硕士调剂_能动_河南农业大学 +3 河南农业大学-能 2026-04-12 3/150 2026-04-13 12:44 by 木鱼.
[考研] 求调剂 +9 吃口冰激凌 2026-04-07 9/450 2026-04-13 08:46 by 紫曦紫棋
[考研] 290调剂生物0860 +28 哇哈哈，。 2026-04-11 31/1550 2026-04-13 01:16 by 幸免 ..
[考研] 279求调剂 +9 张番茄不炒蛋 2026-04-11 9/450 2026-04-12 22:22 by paopaotu326
[考研] 2本，初试303，0860求调剂 +6 floriea 2026-04-12 8/400 2026-04-12 18:13 by zhouxiaoyu
[考研] 086000调剂 +6 十七sa 2026-04-07 6/300 2026-04-12 11:05 by 大力水手力大无�
[考研] 电气工程专硕320求调剂 +5 小麻子111 2026-04-10 5/250 2026-04-12 10:47 by zhouyuwinner
[考研] 291求调剂 +11 关忆北. 2026-04-09 12/600 2026-04-12 10:32 by 逆水乘风
[考研] 化学工程调剂289 +44 yang婷 2026-04-07 50/2500 2026-04-12 02:36 by 秋豆菜芽
[考研] 280求调剂 +7 兮兮夜夜 2026-04-09 10/500 2026-04-12 00:33 by 蓝云思雨
[考研] 277 数一104，学硕，求调剂 +21 瓶子PZ 2026-04-09 23/1150 2026-04-11 23:12 by labixiaoqiao
[考研] 296求调剂 +14 汪！？！ 2026-04-08 15/750 2026-04-11 20:28 by dongdian1
[考研] 085501机械专硕 302分 不挑专业求调剂 +7 汪某. 2026-04-09 7/350 2026-04-11 14:37 by luhong1990
[考研] 301求调剂 +5 149. 2026-04-10 5/250 2026-04-10 15:45 by 柴小白
[考研] 085800 能源动力求调剂 +6 阿biu啊啊啊啊啊 2026-04-10 6/300 2026-04-10 15:03 by hemengdong
[考研] 265求调剂 +4 风说她早忘了 2026-04-07 4/200 2026-04-09 13:59 by only周
[考研] 招收有机化学、化工，药学，食品灯专业学生 +3 yrfhjgdj 2026-04-08 3/150 2026-04-09 10:15 by QYQX_123
[考研] 机械调剂 +3 zzzbcb 2026-04-07 3/150 2026-04-07 22:19 by hemengdong
[考研] 333求调剂 +6 合乘杨习夕 2026-04-06 6/300 2026-04-07 09:44 by 猪会飞
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭