应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 网络生活区 » 有奖问答 » 学术帮助 » 怎样刻蚀 掉基于ALD生长的20nm氧化铝薄膜？
71/1返回列表
查看: 1997  |  回复: 6
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
本帖产生 1 个 博学EPI ，点击这里进行查看

撒兰斯

新虫 (著名写手)

[求助] 怎样刻蚀 掉基于ALD生长的20nm氧化铝薄膜？

我用ALD长的20nm氧化铝，现在想去掉它，但不要破坏它下面的石墨烯（底层石墨烯只有1nm后），应该怎么办呢？如果是湿法刻蚀，请给出溶液配比，刻蚀速率，和大概的刻蚀时间。。。。对了，该片子的基底是Si
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
1楼 2014-09-15 13:51:33
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

lilinxian461

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
撒兰斯: 金币+5, 博学EPI+1, ★有帮助 2014-10-26 16:48:02
既然下面是石墨烯，为什么不试试用酸去腐蚀，应该很方便吧，时间长了也不怕石墨烯有问题啊，氧化铝又很活泼，随便弄点酸就能腐蚀掉啊，我以前学材料化学的，现在是做光学工程方面的半导体，不知道说的对不对，
赞一下 回复此楼
2楼2014-09-15 19:37:16
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

撒兰斯

新虫 (著名写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by lilinxian461 at 2014-09-14 23:37:16
既然下面是石墨烯，为什么不试试用酸去腐蚀，应该很方便吧，时间长了也不怕石墨烯有问题啊，氧化铝又很活泼，随便弄点酸就能腐蚀掉啊，我以前学材料化学的，现在是做光学工程方面的半导体，不知道说的对不对，

我也想用酸腐蚀，可是，有一部分氧化铝我是想保留下来的，这部分很小面积，也就几微米吧，我就怕酸调到的不好，给过腐蚀了，我现在想知道算溶液的配比是多少，比如盐酸与水几比几，腐蚀速率是多少呢？嘿嘿，谢谢你啊
赞一下 回复此楼
3楼2014-09-15 22:31:52
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

senpeng

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

楼主是哪高校的？

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
赞一下 回复此楼
4楼2014-09-21 10:04:41
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

撒兰斯

新虫 (著名写手)
引用回帖:
4楼: Originally posted by senpeng at 2014-09-20 14:04:41
楼主是哪高校的？

中北大学
回复此楼
5楼2014-10-26 16:47:36
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

buctlx

金虫 (正式写手)

金虫
引用回帖:
5楼: Originally posted by 撒兰斯 at 2014-10-26 16:47:36
中北大学

山西的？

发自小木虫IOS客户端
回复此楼
承担失败的责任，决绝懦弱的平庸。
6楼2015-11-27 18:27:13
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

tk凌峰人

银虫 (著名写手)
非要用石墨烯做基底嘛你们。

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
宁静致远
7楼2015-11-29 01:36:29
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 撒兰斯 的主题更新
71/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 材料与化工（0856）304求B区调剂 +3 邱gl 2026-03-20 7/350 2026-03-21 19:05 by 15709483992
[考研] 278求调剂 +9 烟火先于春 2026-03-17 9/450 2026-03-21 17:47 by 学员8dgXkO
[考研] 材料 271求调剂 +5 展信悦_ 2026-03-21 5/250 2026-03-21 17:29 by 学员8dgXkO
[考研] 一志愿华中科技大学071000，求调剂 +3 沿岸有贝壳6 2026-03-21 3/150 2026-03-21 10:35 by 暮云清寒
[考研] 材料专硕英一数二306 +7 z1z2z3879 2026-03-18 7/350 2026-03-20 23:48 by JourneyLucky
[考研] 一志愿南昌大学，327分，材料与化工085600 +9 Ncdx123456 2026-03-19 9/450 2026-03-20 23:41 by lovewei0727
[考研] 一志愿中海洋材料工程专硕330分求调剂 +8 小材化本科 2026-03-18 8/400 2026-03-20 23:16 by JourneyLucky
[考研] 330求调剂 +4 小材化本科 2026-03-18 4/200 2026-03-20 23:13 by JourneyLucky
[考研] 304求调剂 +7 司空. 2026-03-18 7/350 2026-03-20 23:08 by JourneyLucky
[考研] 一志愿武汉理工材料工程专硕调剂 +9 Doleres 2026-03-19 9/450 2026-03-20 22:36 by JourneyLucky
[考研] 317求调剂 +5 申子申申 2026-03-19 9/450 2026-03-20 22:26 by JourneyLucky
[考研] 287求调剂 +7 晨昏线与星海 2026-03-19 8/400 2026-03-20 22:19 by JourneyLucky
[考研] 一志愿苏州大学材料求调剂，总分315（英一） +5 sbdksD 2026-03-19 5/250 2026-03-20 22:10 by luoyongfeng
[考研] 广西大学家禽遗传育种课题组2026年硕士招生（接收计算机专业调剂） +3 123阿标 2026-03-17 3/150 2026-03-20 15:58 by 飞行琦
[考研] 085410人工智能专硕317求调剂（0854都可以） +4 xbxudjdn 2026-03-18 4/200 2026-03-20 09:07 by 不168
[论文投稿] 申请回稿延期一个月，编辑同意了。但系统上的时间没变，给编辑又写邮件了，没回复 10+3 wangf9518 2026-03-17 4/200 2026-03-19 23:55 by babero
[考研] 生物学调剂招人！！！ +3 山海天岚 2026-03-17 4/200 2026-03-19 21:34 by 怎么释怀
[考研] 有没有道铁/土木的想调剂南林，给自己招师弟中～ +3 TqlXswl 2026-03-16 7/350 2026-03-17 15:23 by TqlXswl
[考研] 一志愿，福州大学材料专硕339分求调剂 +3 木子momo青争 2026-03-15 3/150 2026-03-17 07:52 by laoshidan
[考研] 318求调剂 +3 Yanyali 2026-03-15 3/150 2026-03-16 16:41 by houyaoxu
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭