| 查看: 2024 | 回复: 6 | |||
| 本帖产生 1 个 博学EPI ，点击这里进行查看 | |||
[求助]
怎样刻蚀 掉基于ALD生长的20nm氧化铝薄膜？
|
|||
| 我用ALD长的20nm氧化铝，现在想去掉它，但不要破坏它下面的石墨烯（底层石墨烯只有1nm后），应该怎么办呢？如果是湿法刻蚀，请给出溶液配比，刻蚀速率，和大概的刻蚀时间。。。。对了，该片子的基底是Si |
回复此楼» 猜你喜欢
085600材料与化工329分求调剂
已经有5人回复
-
复试调剂
已经有18人回复
-
310求调剂
已经有16人回复
-
274求调剂
已经有7人回复
-
284求调剂
已经有8人回复
-
245求调剂
已经有7人回复
-
有爆料，一个青年教师卖房得400万，然后换了一个四青帽子
已经有11人回复
-
290求调剂
已经有15人回复
-
材料相关专业344求调剂双非工科学校或课题组
已经有16人回复
-
一志愿西交机械专硕求调剂
已经有9人回复
» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 请问大家对100纳米的α-氧化铝有什么看法，它有什么应用？
已经有10人回复
lilinxian461
新虫 (小有名气)
- 博学EPI: 1
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 21.5
- 散金: 24
- 帖子: 107
- 在线: 20.8小时
- 虫号: 3006300
- 注册: 2014-03-01
- 专业: 凝聚态物性 II ：电子结构
2楼2014-09-15 19:37:16
3楼2014-09-15 22:31:52
senpeng
铜虫 (小有名气)
- 应助: 5 (幼儿园)
- 金币: 169.6
- 帖子: 149
- 在线: 27.2小时
- 虫号: 443434
- 注册: 2007-10-27
- 性别: GG
- 专业: 无机非金属类光电信息与功
4楼2014-09-21 10:04:41
5楼2014-10-26 16:47:36
buctlx
金虫 (正式写手)
金虫
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 1312.3
- 散金: 21
- 红花: 3
- 帖子: 923
- 在线: 269.3小时
- 虫号: 3801440
- 注册: 2015-04-10
- 性别: GG
- 专业: 环境化工
6楼2015-11-27 18:27:13
7楼2015-11-29 01:36:29
