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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 网络生活区 » 有奖问答 » 学术帮助 » 怎样刻蚀 掉基于ALD生长的20nm氧化铝薄膜？
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lilinxian461

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
撒兰斯: 金币+5, 博学EPI+1, ★有帮助 2014-10-26 16:48:02
既然下面是石墨烯，为什么不试试用酸去腐蚀，应该很方便吧，时间长了也不怕石墨烯有问题啊，氧化铝又很活泼，随便弄点酸就能腐蚀掉啊，我以前学材料化学的，现在是做光学工程方面的半导体，不知道说的对不对，
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2楼2014-09-15 19:37:16
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