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怎样刻蚀 掉基于ALD生长的20nm氧化铝薄膜？
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| 我用ALD长的20nm氧化铝，现在想去掉它，但不要破坏它下面的石墨烯（底层石墨烯只有1nm后），应该怎么办呢？如果是湿法刻蚀，请给出溶液配比，刻蚀速率，和大概的刻蚀时间。。。。对了，该片子的基底是Si |
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