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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 晶体 » 基础理论 » 薄膜中面内应力与面外应力
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santiago_qdu

木虫 (正式写手)

[交流] 薄膜中面内应力与面外应力

我现在对衬底上生长薄膜，薄膜受衬底什么样的应力搞不清楚，
文献中经常提到out-of-plane 和 in-plane ,这个面内和面外是怎么区分
的，希望大神可以帮我讲清楚，多谢多谢……
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1楼 2014-09-13 10:49:35
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休眠火山

禁虫 (知名作家)

XRD&SEM qq2978260443
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★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
out-of-plane是指射线垂直样品表面入射，探测器在样品表面所在的平面内采集信号。
in-plane是指射线沿几乎平行于样品表面入射，探测器在离开样品表面所在的屏幕采集信号。
一般的衍射仪不一定能做。
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2楼2014-09-15 09:03:40
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santiago_qdu

木虫 (正式写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 休眠火山 at 2014-09-15 09:03:40
out-of-plane是指射线垂直样品表面入射，探测器在样品表面所在的平面内采集信号。
in-plane是指射线沿几乎平行于样品表面入射，探测器在离开样品表面所在的屏幕采集信号。
一般的衍射仪不一定能做。

我想问的是应力的问题，它这个面内和面外也是这样分的吗？面内就是平行于样品表面，面外就是垂直于样品表面？
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3楼2014-09-16 14:53:12
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