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santiago_qdu

木虫 (正式写手)

[交流] 薄膜中面内应力与面外应力

我现在对衬底上生长薄膜,薄膜受衬底什么样的应力搞不清楚,
文献中经常提到out-of-plane 和 in-plane ,这个面内和面外是怎么区分
的,希望大神可以帮我讲清楚,多谢多谢……
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休眠火山

禁虫 (知名作家)

XRD&SEM qq2978260443


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小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
out-of-plane是指射线垂直样品表面入射,探测器在样品表面所在的平面内采集信号。
in-plane是指射线沿几乎平行于样品表面入射,探测器在离开样品表面所在的屏幕采集信号。
一般的衍射仪不一定能做。
2楼2014-09-15 09:03:40
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santiago_qdu

木虫 (正式写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by 休眠火山 at 2014-09-15 09:03:40
out-of-plane是指射线垂直样品表面入射,探测器在样品表面所在的平面内采集信号。
in-plane是指射线沿几乎平行于样品表面入射,探测器在离开样品表面所在的屏幕采集信号。
一般的衍射仪不一定能做。

我想问的是应力的问题,它这个面内和面外也是这样分的吗?面内就是平行于样品表面,面外就是垂直于样品表面?
3楼2014-09-16 14:53:12
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