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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料其他 » XPS与EDX为何结果极大
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qhs81

新虫 (初入文坛)

[求助] XPS与EDX为何结果极大 已有4人参与

同一个样品，做成份，Ti与铜的比例，XPS显示是19：1，EDX显示约为4：1
另外样品也是，XPS显示18：1，EDX显示3.5：1
不要说什么半定量，就算半定量，这差别也太大了。
为什么为什么为什么？
有人对比过没？
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1楼 2014-09-01 15:16:42
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回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

yong0119

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与，应助指数 +1
qhs81: 金币+2, ★有帮助, 感谢回复。 2014-09-03 08:59:46
xPS测的是表面 纳米深度；edx测表面 但是是微米深度。

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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欢迎失效分析案例咨询
2楼2014-09-01 18:37:40
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qhs81

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by yong0119 at 2014-09-01 18:37:40
xPS测的是表面 纳米深度；edx测表面 但是是微米深度。

溅射制备的，溅射一般还是很均匀的，跟深度关系不大。而且XPS测量的时候逐层溅射剥蚀过，数据变化不大，证实成分变化不大。
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3楼2014-09-01 22:05:02
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)

【答案】应助回帖

★ ★
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qhs81: 金币+2, ★有帮助, 感谢回复。 2014-09-03 08:59:56
溅射膜有多厚啊，edx有没有做过标样校正，没有校正的话eds根本不能定量，XPS是半定量
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4楼2014-09-02 11:20:00
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qhs81

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
4楼: Originally posted by gxytju2008 at 2014-09-02 11:20:00
溅射膜有多厚啊，edx有没有做过标样校正，没有校正的话eds根本不能定量，XPS是半定量

都不准，但是一般XPS准一些。EDX做了标定。半定量也不至于差这么多吧？厚度绝对够，快1微米了。而且基片测过，不含铜钛。
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5楼2014-09-02 21:58:45
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wl20098836

至尊木虫 (文坛精英)

【答案】应助回帖

★ ★
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qhs81: 金币+2, ★有帮助, 感谢回复。 2014-09-03 09:00:08
XPS与EDS分辨率区别很大，在定量分析上二者对比意义应该不大。另外，不知楼主用的XPS是Mg靶还是Al靶？
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6楼2014-09-03 00:24:29
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O_^_O

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与，应助指数 +1
qhs81: 金币+2, ★有帮助, 感谢回复。 2014-09-03 09:00:21
引用回帖:
3楼: Originally posted by qhs81 at 2014-09-01 22:05:02
溅射制备的，溅射一般还是很均匀的，跟深度关系不大。而且XPS测量的时候逐层溅射剥蚀过，数据变化不大，证实成分变化不大。...

逐层剥离同样会引起元素在表面的偏析：两种元素被剥离的速度一致吗？

[ 发自小木虫客户端 ]
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大眼睛
7楼2014-09-03 00:37:21
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qhs81

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
7楼: Originally posted by O_^_O at 2014-09-03 00:37:21
逐层剥离同样会引起元素在表面的偏析：两种元素被剥离的速度一致吗？
...

XPS逐层剥离后的成份变化不大，跟没剥离测试结果相差不大。
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8楼2014-09-03 08:54:27
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qhs81

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
6楼: Originally posted by wl20098836 at 2014-09-03 00:24:29
XPS与EDS分辨率区别很大，在定量分析上二者对比意义应该不大。另外，不知楼主用的XPS是Mg靶还是Al靶？

不说对比，至少有个参照吧。相差将近5倍，如何能接受？
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9楼2014-09-03 08:57:30
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O_^_O

金虫 (小有名气)
引用回帖:
9楼: Originally posted by qhs81 at 2014-09-03 08:57:30
不说对比，至少有个参照吧。相差将近5倍，如何能接受？...

送到其他单位测一下。

[ 发自小木虫客户端 ]
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大眼睛
10楼2014-09-03 17:29:00
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