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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料其他 » XPS与EDX为何结果极大
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qhs81

新虫 (初入文坛)

[求助] XPS与EDX为何结果极大 已有4人参与

同一个样品，做成份，Ti与铜的比例，XPS显示是19：1，EDX显示约为4：1
另外样品也是，XPS显示18：1，EDX显示3.5：1
不要说什么半定量，就算半定量，这差别也太大了。
为什么为什么为什么？
有人对比过没？
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1楼 2014-09-01 15:16:42
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qhs81

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
6楼: Originally posted by wl20098836 at 2014-09-03 00:24:29
XPS与EDS分辨率区别很大，在定量分析上二者对比意义应该不大。另外，不知楼主用的XPS是Mg靶还是Al靶？

不说对比，至少有个参照吧。相差将近5倍，如何能接受？
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9楼2014-09-03 08:57:30
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yong0119

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与，应助指数 +1
qhs81: 金币+2, ★有帮助, 感谢回复。 2014-09-03 08:59:46
xPS测的是表面 纳米深度；edx测表面 但是是微米深度。

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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欢迎失效分析案例咨询
2楼2014-09-01 18:37:40
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qhs81

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by yong0119 at 2014-09-01 18:37:40
xPS测的是表面 纳米深度；edx测表面 但是是微米深度。

溅射制备的，溅射一般还是很均匀的，跟深度关系不大。而且XPS测量的时候逐层溅射剥蚀过，数据变化不大，证实成分变化不大。
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3楼2014-09-01 22:05:02
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与，应助指数 +1
qhs81: 金币+2, ★有帮助, 感谢回复。 2014-09-03 08:59:56
溅射膜有多厚啊，edx有没有做过标样校正，没有校正的话eds根本不能定量，XPS是半定量
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4楼2014-09-02 11:20:00
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