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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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qhs81

新虫 (初入文坛)

[求助] XPS与EDX为何结果极大 已有4人参与

同一个样品,做成份,Ti与铜的比例,XPS显示是19:1,EDX显示约为4:1
另外样品也是,XPS显示18:1,EDX显示3.5:1
不要说什么半定量,就算半定量,这差别也太大了。
为什么为什么为什么?
有人对比过没?
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与,应助指数 +1
qhs81: 金币+2, 有帮助, 感谢回复。 2014-09-03 08:59:56
溅射膜有多厚啊,edx有没有做过标样校正,没有校正的话eds根本不能定量,XPS是半定量
4楼2014-09-02 11:20:00
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yong0119

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与,应助指数 +1
qhs81: 金币+2, 有帮助, 感谢回复。 2014-09-03 08:59:46
xPS测的是表面 纳米深度;edx测表面 但是是微米深度。

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
欢迎失效分析案例咨询
2楼2014-09-01 18:37:40
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qhs81

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by yong0119 at 2014-09-01 18:37:40
xPS测的是表面 纳米深度;edx测表面 但是是微米深度。

溅射制备的,溅射一般还是很均匀的,跟深度关系不大。而且XPS测量的时候逐层溅射剥蚀过,数据变化不大,证实成分变化不大。
3楼2014-09-01 22:05:02
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qhs81

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
4楼: Originally posted by gxytju2008 at 2014-09-02 11:20:00
溅射膜有多厚啊,edx有没有做过标样校正,没有校正的话eds根本不能定量,XPS是半定量

都不准,但是一般XPS准一些。EDX做了标定。半定量也不至于差这么多吧?厚度绝对够,快1微米了。而且基片测过,不含铜钛。
5楼2014-09-02 21:58:45
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