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不死的骆驼

铜虫 (小有名气)

[求助] 如何对柔性衬底的ITO导电薄膜进行刻蚀呢 已有4人参与

对柔性衬底的ITO导电薄膜进行刻蚀的溶液具体配比是多少?用氯化铁加双氧水可以吗?
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Successisneverfinal
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索益半导体

捐助贵宾 (小有名气)


【答案】应助回帖

★ ★ ★
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不死的骆驼(ivansdk代发): 金币+3 2014-11-23 22:18:17
一般使用商用ITO刻蚀液就可以了。
王水可以刻蚀,盐酸+ 硝酸+水稀释,一般4:1:2,增加盐酸会降低刻蚀速率,边缘会比较齐整,增加硝酸比例可以加快刻蚀速率,衬底残留也会比较少,边缘会差一些。
如果非晶的而且比较薄,用草酸溶液比较容易控制。
柔性衬底PI的抗化学性能和耐温都好一点,PEN性能差一些,但是经济型好一些。
我们也在做显示应用方面开发,多多交流。
6楼2014-08-21 12:17:24
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Apple.D.

金虫 (正式写手)

楼主有没有想过用物理方法刻蚀ITO?
2楼2014-08-20 18:10:04
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exciting73

金虫 (著名写手)


有商用的蚀刻液可用,蚀刻速度均匀,自己配的有时候批次之间相差较大
12楼2014-08-22 20:52:36
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普通回帖

不死的骆驼

铜虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by Apple.D. at 2014-08-20 18:10:04
楼主有没有想过用物理方法刻蚀ITO?

物理方法具体是怎样呢?
Successisneverfinal
3楼2014-08-21 08:17:39
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Apple.D.

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
引用回帖:
3楼: Originally posted by 不死的骆驼 at 2014-08-21 08:17:39
物理方法具体是怎样呢?...

用激光刻蚀,我们现在正在做这方面的工作。可以交流一下。
4楼2014-08-21 08:24:43
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向鹰贺

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
可以用王水试试  我也正在做这方面的研究可以交流一下哈
5楼2014-08-21 11:21:02
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尘隐土

木虫 (正式写手)

贫困区

引用回帖:
6楼: Originally posted by 索益半导体 at 2014-08-21 12:17:24
一般使用商用ITO刻蚀液就可以了。
王水可以刻蚀,盐酸+ 硝酸+水稀释,一般4:1:2,增加盐酸会降低刻蚀速率,边缘会比较齐整,增加硝酸比例可以加快刻蚀速率,衬底残留也会比较少,边缘会差一些。
如果非晶的而且比 ...

你们PEN哪里买的
7楼2014-08-21 15:16:49
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索益半导体

捐助贵宾 (小有名气)


【答案】应助回帖

商家已经主动声明此回帖可能含有宣传内容
引用回帖:
7楼: Originally posted by 尘隐土 at 2014-08-21 15:16:49
你们PEN哪里买的...

我们本身就既做研发,也做销售,主页为www.se-semi.com。若有需要,可以联系info@so-ease.net
8楼2014-08-21 17:42:53
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xiejf

专家顾问 (文学泰斗)

麦麦爸爸爱小牛

【答案】应助回帖

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不好控制,不如直接用玻璃刀划
麦麦爸爸爱小牛
9楼2014-08-21 18:21:19
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不死的骆驼

铜虫 (小有名气)

我现在用氯化铁加盐酸来刻蚀,用胶带保护,效果还行
Successisneverfinal
10楼2014-08-21 19:44:07
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