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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 如何对柔性衬底的ITO导电薄膜进行刻蚀呢
北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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不死的骆驼

铜虫 (小有名气)

[求助] 如何对柔性衬底的ITO导电薄膜进行刻蚀呢 已有4人参与

对柔性衬底的ITO导电薄膜进行刻蚀的溶液具体配比是多少？用氯化铁加双氧水可以吗？
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Successisneverfinal
1楼 2014-08-20 14:02:49
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回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

索益半导体

捐助贵宾 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
不死的骆驼(ivansdk代发): 金币+3 2014-11-23 22:18:17
一般使用商用ITO刻蚀液就可以了。
王水可以刻蚀，盐酸+ 硝酸+水稀释，一般4:1:2，增加盐酸会降低刻蚀速率，边缘会比较齐整，增加硝酸比例可以加快刻蚀速率，衬底残留也会比较少，边缘会差一些。
如果非晶的而且比较薄，用草酸溶液比较容易控制。
柔性衬底PI的抗化学性能和耐温都好一点，PEN性能差一些，但是经济型好一些。
我们也在做显示应用方面开发，多多交流。
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6楼2014-08-21 12:17:24
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Apple.D.

金虫 (正式写手)
楼主有没有想过用物理方法刻蚀ITO？
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2楼2014-08-20 18:10:04
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exciting73

金虫 (著名写手)
有商用的蚀刻液可用，蚀刻速度均匀，自己配的有时候批次之间相差较大
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12楼2014-08-22 20:52:36
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普通回帖

不死的骆驼

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by Apple.D. at 2014-08-20 18:10:04
楼主有没有想过用物理方法刻蚀ITO？

物理方法具体是怎样呢？
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Successisneverfinal
3楼2014-08-21 08:17:39
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Apple.D.

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
引用回帖:
3楼: Originally posted by 不死的骆驼 at 2014-08-21 08:17:39
物理方法具体是怎样呢？...

用激光刻蚀，我们现在正在做这方面的工作。可以交流一下。
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4楼2014-08-21 08:24:43
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向鹰贺

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
可以用王水试试  我也正在做这方面的研究可以交流一下哈
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5楼2014-08-21 11:21:02
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尘隐土

木虫 (正式写手)

贫困区
引用回帖:
6楼: Originally posted by 索益半导体 at 2014-08-21 12:17:24
一般使用商用ITO刻蚀液就可以了。
王水可以刻蚀，盐酸+ 硝酸+水稀释，一般4:1:2，增加盐酸会降低刻蚀速率，边缘会比较齐整，增加硝酸比例可以加快刻蚀速率，衬底残留也会比较少，边缘会差一些。
如果非晶的而且比 ...

你们PEN哪里买的
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7楼2014-08-21 15:16:49
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索益半导体

捐助贵宾 (小有名气)

【答案】应助回帖

商家已经主动声明此回帖可能含有宣传内容
引用回帖:
7楼: Originally posted by 尘隐土 at 2014-08-21 15:16:49
你们PEN哪里买的...

我们本身就既做研发，也做销售，主页为www.se-semi.com。若有需要，可以联系info@so-ease.net。
赞一下 回复此楼
8楼2014-08-21 17:42:53
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xiejf

专家顾问 (文学泰斗)

麦麦爸爸爱小牛

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
不好控制，不如直接用玻璃刀划
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麦麦爸爸爱小牛
9楼2014-08-21 18:21:19
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不死的骆驼

铜虫 (小有名气)
我现在用氯化铁加盐酸来刻蚀，用胶带保护，效果还行
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Successisneverfinal
10楼2014-08-21 19:44:07
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