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不死的骆驼

铜虫 (小有名气)

[求助] 如何对柔性衬底的ITO导电薄膜进行刻蚀呢 已有4人参与

对柔性衬底的ITO导电薄膜进行刻蚀的溶液具体配比是多少?用氯化铁加双氧水可以吗?
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Successisneverfinal
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尘隐土

木虫 (正式写手)

贫困区

引用回帖:
6楼: Originally posted by 索益半导体 at 2014-08-21 12:17:24
一般使用商用ITO刻蚀液就可以了。
王水可以刻蚀,盐酸+ 硝酸+水稀释,一般4:1:2,增加盐酸会降低刻蚀速率,边缘会比较齐整,增加硝酸比例可以加快刻蚀速率,衬底残留也会比较少,边缘会差一些。
如果非晶的而且比 ...

你们PEN哪里买的
7楼2014-08-21 15:16:49
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查看全部 16 个回答

Apple.D.

金虫 (正式写手)

楼主有没有想过用物理方法刻蚀ITO?
2楼2014-08-20 18:10:04
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不死的骆驼

铜虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by Apple.D. at 2014-08-20 18:10:04
楼主有没有想过用物理方法刻蚀ITO?

物理方法具体是怎样呢?
Successisneverfinal
3楼2014-08-21 08:17:39
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Apple.D.

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
引用回帖:
3楼: Originally posted by 不死的骆驼 at 2014-08-21 08:17:39
物理方法具体是怎样呢?...

用激光刻蚀,我们现在正在做这方面的工作。可以交流一下。
4楼2014-08-21 08:24:43
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