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不死的骆驼

铜虫 (小有名气)

[求助] 如何对柔性衬底的ITO导电薄膜进行刻蚀呢 已有4人参与

对柔性衬底的ITO导电薄膜进行刻蚀的溶液具体配比是多少?用氯化铁加双氧水可以吗?
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Successisneverfinal
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exciting73

金虫 (著名写手)


有商用的蚀刻液可用,蚀刻速度均匀,自己配的有时候批次之间相差较大
12楼2014-08-22 20:52:36
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Apple.D.

金虫 (正式写手)

楼主有没有想过用物理方法刻蚀ITO?
2楼2014-08-20 18:10:04
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不死的骆驼

铜虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by Apple.D. at 2014-08-20 18:10:04
楼主有没有想过用物理方法刻蚀ITO?

物理方法具体是怎样呢?
Successisneverfinal
3楼2014-08-21 08:17:39
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Apple.D.

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
引用回帖:
3楼: Originally posted by 不死的骆驼 at 2014-08-21 08:17:39
物理方法具体是怎样呢?...

用激光刻蚀,我们现在正在做这方面的工作。可以交流一下。
4楼2014-08-21 08:24:43
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