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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 如何对柔性衬底的ITO导电薄膜进行刻蚀呢
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不死的骆驼

铜虫 (小有名气)
PEN在深圳南玻买的，保质期半年
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Successisneverfinal
11楼2014-08-21 19:46:59
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exciting73

金虫 (著名写手)
有商用的蚀刻液可用，蚀刻速度均匀，自己配的有时候批次之间相差较大
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12楼2014-08-22 20:52:36
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baopkbao

铁杆木虫 (正式写手)
引用回帖:
6楼: Originally posted by 索益半导体 at 2014-08-21 12:17:24
一般使用商用ITO刻蚀液就可以了。
王水可以刻蚀，盐酸+ 硝酸+水稀释，一般4:1:2，增加盐酸会降低刻蚀速率，边缘会比较齐整，增加硝酸比例可以加快刻蚀速率，衬底残留也会比较少，边缘会差一些。
如果非晶的而且比 ...

请问下，ITO玻璃上不需要刻蚀的地方用什么覆盖？如果要做最小尺寸非常小的，20um左右。我用的方法是旋涂一层1um厚的正光刻胶PR1-1000，然后把需要刻蚀的地方曝光，显影，然后再刻蚀，但是我用自己配的盐酸+ 硝酸+水稀释，50:3:50，会把正胶一起都刻蚀掉。
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13楼2015-03-25 18:51:14
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查无此人123

新虫 (初入文坛)
本人小白~~为什么要对电极刻蚀成一条条的形状？？如果是面电极会怎么样呢
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14楼2015-12-31 10:01:48
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kebaokeji

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
7楼: Originally posted by 尘隐土 at 2014-08-21 15:16:49
你们PEN哪里买的...

这个污染太严重，气味太大，产生黄烟二氧化氮（硝酸分解产生的）易中毒，而且强酸对设备腐蚀损耗也很大。其实商用的环保型的市场上早就有了，没必要冒险用高腐蚀性且易产生有毒气体的原料。我们就用深圳一家司KBX-618环保型蚀刻液，无气味，低酸，速度稳定，原料消耗也很少，才几百公斤搞定。
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杨生
15楼2016-01-08 19:19:58
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kebaokeji

新虫 (初入文坛)
自已搞污染太严重，气味太大，产生黄烟二氧化氮（酸分解产生的）易中毒，而且强酸对设备腐蚀损耗也很大。其实商用的环保型ITO蚀刻液市场上早就有了，没必要冒险用高腐蚀性且易产生有毒气体的原料。我们就是用深圳一家司KBX-618环保ITO型蚀刻液，无气味，低酸，速度稳定，原料消耗也很少，才几百公斤搞定。
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杨生
16楼2016-01-08 19:21:43
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