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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 如何对柔性衬底的ITO导电薄膜进行刻蚀呢
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不死的骆驼

铜虫 (小有名气)

[求助] 如何对柔性衬底的ITO导电薄膜进行刻蚀呢 已有4人参与

对柔性衬底的ITO导电薄膜进行刻蚀的溶液具体配比是多少？用氯化铁加双氧水可以吗？
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Successisneverfinal
1楼 2014-08-20 14:02:49
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kebaokeji

新虫 (初入文坛)
自已搞污染太严重，气味太大，产生黄烟二氧化氮（酸分解产生的）易中毒，而且强酸对设备腐蚀损耗也很大。其实商用的环保型ITO蚀刻液市场上早就有了，没必要冒险用高腐蚀性且易产生有毒气体的原料。我们就是用深圳一家司KBX-618环保ITO型蚀刻液，无气味，低酸，速度稳定，原料消耗也很少，才几百公斤搞定。
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杨生
16楼2016-01-08 19:21:43
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Apple.D.

金虫 (正式写手)
楼主有没有想过用物理方法刻蚀ITO？
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2楼2014-08-20 18:10:04
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不死的骆驼

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by Apple.D. at 2014-08-20 18:10:04
楼主有没有想过用物理方法刻蚀ITO？

物理方法具体是怎样呢？
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Successisneverfinal
3楼2014-08-21 08:17:39
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Apple.D.

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
引用回帖:
3楼: Originally posted by 不死的骆驼 at 2014-08-21 08:17:39
物理方法具体是怎样呢？...

用激光刻蚀，我们现在正在做这方面的工作。可以交流一下。
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4楼2014-08-21 08:24:43
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