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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 如何对柔性衬底的ITO导电薄膜进行刻蚀呢
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不死的骆驼

铜虫 (小有名气)

[求助] 如何对柔性衬底的ITO导电薄膜进行刻蚀呢 已有4人参与

对柔性衬底的ITO导电薄膜进行刻蚀的溶液具体配比是多少？用氯化铁加双氧水可以吗？
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Successisneverfinal
1楼 2014-08-20 14:02:49
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baopkbao

铁杆木虫 (正式写手)
引用回帖:
6楼: Originally posted by 索益半导体 at 2014-08-21 12:17:24
一般使用商用ITO刻蚀液就可以了。
王水可以刻蚀，盐酸+ 硝酸+水稀释，一般4:1:2，增加盐酸会降低刻蚀速率，边缘会比较齐整，增加硝酸比例可以加快刻蚀速率，衬底残留也会比较少，边缘会差一些。
如果非晶的而且比 ...

请问下，ITO玻璃上不需要刻蚀的地方用什么覆盖？如果要做最小尺寸非常小的，20um左右。我用的方法是旋涂一层1um厚的正光刻胶PR1-1000，然后把需要刻蚀的地方曝光，显影，然后再刻蚀，但是我用自己配的盐酸+ 硝酸+水稀释，50:3:50，会把正胶一起都刻蚀掉。
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13楼2015-03-25 18:51:14
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Apple.D.

金虫 (正式写手)
楼主有没有想过用物理方法刻蚀ITO？
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2楼2014-08-20 18:10:04
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不死的骆驼

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by Apple.D. at 2014-08-20 18:10:04
楼主有没有想过用物理方法刻蚀ITO？

物理方法具体是怎样呢？
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Successisneverfinal
3楼2014-08-21 08:17:39
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Apple.D.

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
引用回帖:
3楼: Originally posted by 不死的骆驼 at 2014-08-21 08:17:39
物理方法具体是怎样呢？...

用激光刻蚀，我们现在正在做这方面的工作。可以交流一下。
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4楼2014-08-21 08:24:43
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