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不死的骆驼

铜虫 (小有名气)

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[求助] 如何对柔性衬底的ITO导电薄膜进行刻蚀呢已有4人参与

对柔性衬底的ITO导电薄膜进行刻蚀的溶液具体配比是多少？用氯化铁加双氧水可以吗？

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Successisneverfinal

1楼 2014-08-20 14:02:49

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baopkbao

铁杆木虫 (正式写手)

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引用回帖:

6楼: Originally posted by 索益半导体 at 2014-08-21 12:17:24
一般使用商用ITO刻蚀液就可以了。
王水可以刻蚀，盐酸+ 硝酸+水稀释，一般4:1:2，增加盐酸会降低刻蚀速率，边缘会比较齐整，增加硝酸比例可以加快刻蚀速率，衬底残留也会比较少，边缘会差一些。
如果非晶的而且比 ...

请问下，ITO玻璃上不需要刻蚀的地方用什么覆盖？如果要做最小尺寸非常小的，20um左右。我用的方法是旋涂一层1um厚的正光刻胶PR1-1000，然后把需要刻蚀的地方曝光，显影，然后再刻蚀，但是我用自己配的盐酸+ 硝酸+水稀释，50:3:50，会把正胶一起都刻蚀掉。