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ke0212

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[交流] 铝的蚀刻工艺已有1人参与

目前在做一个课题就是半导体领域常用的硬质铝刀片需要用氢氧化钠去蚀刻一部分铝
想请教下，铝用NaOH去蚀刻除了需要注意氢氧化钠浓度反应温度，还要注意什么，随着反应的进行，氢氧化钠慢慢消耗，应该怎么维持氢氧化钠的浓度呢？
蚀刻液中偏铝酸钠的浓度会影响蚀刻速度吗？

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志存高远

1楼2014-08-18 22:52:30

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ke0212

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3楼: Originally posted by huanhuan5650 at 2014-08-19 16:58:12
你是需要铝蚀刻的工艺流程和参数吗？以及过程的控制，管理？铝离子的范围？

是的啊非常感谢，铝蚀刻的工艺流程和参数、以及过程的控制，管理这些有资料能给我参考吗？

另外铝离子的范围？这个鋁离子是怎么产生的呢？我查阅了很多资料，铝在强碱溶液中怎么会有铝离子产生呢？

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志存高远

4楼2014-08-19 19:16:07

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ke0212

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5楼: Originally posted by huanhuan5650 at 2014-08-20 13:06:07
铝的碱性蚀刻：片碱：45~80g/L ，根据速度可适当调高浓度，硝酸钠保持和片碱1:1就可以。温度60~80，铝离子不超过50g/L。时间3~5min，控制这些就差不多了。铝离子是铝和片碱反应生成的.或者形成了偏铝酸钠，它们之 ...

硝酸钠的作用是什么？是质量比为1:1吗？
流程：除油--除氧化层--涂布---烤干---曝光----显影----蚀刻---褪膜 ---阳极氧化---OK 这个流程是电化学蚀刻吗？

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志存高远

6楼2014-08-21 20:54:07

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7楼: Originally posted by huanhuan5650 at 2014-08-22 08:21:38
质量比，作用：降温，缓冲剂
是化学蚀刻...

流程：除油--除氧化层--涂布---烤干---曝光----显影----蚀刻---褪膜 ---阳极氧化---OK
除油，去除铝表面的油脂
除氧化层，铝表面被氧化的部分，这个用什么去除，酸？
涂布是什么？
烤干？
曝光？
显影？
蚀刻就是开始在溶液中进行反应了是吧
褪膜？
阳极氧化？
这些能解释下吗？有形成原电池吗？我是蚀刻铝质刀片大概几个微米的厚度

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志存高远

8楼2014-08-22 22:09:17

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