应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 化学化工区 » 工艺技术 » 工艺设计 » 铝的蚀刻工艺
151/2返回列表12下一页
查看: 1423  |  回复: 14
只看楼主@他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

ke0212

铁杆木虫 (著名写手)

[交流] 铝的蚀刻工艺已有1人参与

目前在做一个课题  就是半导体领域常用的硬质铝刀片  需要用氢氧化钠去蚀刻一部分铝   
  想请教下，铝用NaOH去蚀刻除了需要注意  氢氧化钠浓度  反应温度，还要注意什么，  随着反应的进行，氢氧化钠慢慢消耗，应该怎么维持氢氧化钠的浓度呢？
蚀刻液中偏铝酸钠的浓度会影响蚀刻速度吗？
回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

化工资料

» 本帖已获得的红花（最新10朵）

huanhuan5650

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
志存高远
1楼2014-08-18 22:52:30
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

huanhuan5650

金虫 (正式写手)
★ ★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
tyhjqxbz: 金币+1, 感谢应助交流，常来工艺技术版 2014-08-21 06:41:06
ke0212: 金币+1 2014-08-21 20:51:27
引用回帖:
4楼: Originally posted by ke0212 at 2014-08-19 19:16:07
是的啊  非常感谢，铝蚀刻的工艺流程和参数、以及过程的控制，管理这些有资料能给我参考吗？

另外铝离子的范围？这个鋁离子是怎么产生的呢？ 我查阅了很多资料，铝在强碱溶液中怎么会有铝离子产生呢？...

铝的碱性蚀刻： 片碱：45~80g/L ，根据速度可适当调高浓度，硝酸钠保持和片碱1:1就可以。温度60~80，铝离子不超过50g/L。时间3~5min，控制这些就差不多了。铝离子是铝和片碱反应生成的.或者形成了偏铝酸钠，它们之间过程是可逆的。注意定期清理槽底下的渣子。流程：除油--除氧化层--涂布---烤干---曝光----显影----蚀刻---褪膜 ---阳极氧化---OK
赞一下(1人) 回复此楼
5楼2014-08-20 13:06:07
 已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
普通回帖

tyhjqxbz

主管区长 (文坛精英)

优秀版主优秀版主优秀版主优秀区长优秀版主优秀版主优秀版主
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
加快速度的方法：
方法一：加大氢氧化钠浓度
方法二：当然可以滴几滴硫酸铜(只能几滴，多了会沉淀，这时溶液变蓝)，
使之生成不稳定络合物[Cu(OH)4]2-
铝可以从中置换出Cu，形成原电池加快反应

这篇文献可以看看哦http://www.cnki.com.cn/Article/CJFDTotal-QJGY201307024.htm

http://wenku.baidu.com/link?url= ... AdJ0kn6tyhoTfeCSphm
赞一下 回复此楼
只为成功找方法，不为失败找借口——欢迎常到注册执考区
2楼2014-08-19 07:06:40
 已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

huanhuan5650

金虫 (正式写手)
★ ★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
送红花一朵
ke0212: 金币+1 2014-08-19 19:47:04
tyhjqxbz: 金币+1, 感谢应助交流，常来工艺技术版 2014-08-20 06:56:51
你是需要铝蚀刻的工艺流程和参数吗？以及过程的控制，管理？铝离子的范围？
赞一下 回复此楼
3楼2014-08-19 16:58:12
 已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

ke0212

铁杆木虫 (著名写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by huanhuan5650 at 2014-08-19 16:58:12
你是需要铝蚀刻的工艺流程和参数吗？以及过程的控制，管理？铝离子的范围？

是的啊  非常感谢，铝蚀刻的工艺流程和参数、以及过程的控制，管理这些有资料能给我参考吗？

另外铝离子的范围？这个鋁离子是怎么产生的呢？ 我查阅了很多资料，铝在强碱溶液中怎么会有铝离子产生呢？
赞一下 回复此楼
志存高远
4楼2014-08-19 19:16:07
 已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

ke0212

铁杆木虫 (著名写手)
引用回帖:
5楼: Originally posted by huanhuan5650 at 2014-08-20 13:06:07
铝的碱性蚀刻： 片碱：45~80g/L ，根据速度可适当调高浓度，硝酸钠保持和片碱1:1就可以。温度60~80，铝离子不超过50g/L。时间3~5min，控制这些就差不多了。铝离子是铝和片碱反应生成的.或者形成了偏铝酸钠，它们之 ...

硝酸钠的作用是什么？  是质量比为1:1吗？   
流程：除油--除氧化层--涂布---烤干---曝光----显影----蚀刻---褪膜 ---阳极氧化---OK   这个流程是电化学蚀刻吗？
赞一下 回复此楼
志存高远
6楼2014-08-21 20:54:07
 已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

huanhuan5650

金虫 (正式写手)
★ ★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
ke0212: 金币+1 2014-08-22 21:33:09
scu2020: 金币+1, 感谢应助交流，常来工艺技术版 2014-08-22 23:23:59
引用回帖:
6楼: Originally posted by ke0212 at 2014-08-21 20:54:07
硝酸钠的作用是什么？  是质量比为1:1吗？   
流程：除油--除氧化层--涂布---烤干---曝光----显影----蚀刻---褪膜 ---阳极氧化---OK   这个流程是电化学蚀刻吗？...

质量比 ，作用：降温，缓冲剂
是化学蚀刻
赞一下 回复此楼
7楼2014-08-22 08:21:38
 已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

ke0212

铁杆木虫 (著名写手)
引用回帖:
7楼: Originally posted by huanhuan5650 at 2014-08-22 08:21:38
质量比 ，作用：降温，缓冲剂
是化学蚀刻...

流程：除油--除氧化层--涂布---烤干---曝光----显影----蚀刻---褪膜 ---阳极氧化---OK
除油，去除铝表面的油脂
除氧化层，铝表面被氧化的部分，这个用什么去除，酸？
涂布是什么？
烤干？
曝光？
显影？
蚀刻就是开始在溶液中进行反应了是吧
褪膜？
阳极氧化？
这些能解释下吗？  有形成原电池吗？     我是蚀刻铝质刀片 大概几个微米的厚度
赞一下 回复此楼
志存高远
8楼2014-08-22 22:09:17
 已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

ke0212

铁杆木虫 (著名写手)
引用回帖:
5楼: Originally posted by huanhuan5650 at 2014-08-20 13:06:07
铝的碱性蚀刻： 片碱：45~80g/L ，根据速度可适当调高浓度，硝酸钠保持和片碱1:1就可以。温度60~80，铝离子不超过50g/L。时间3~5min，控制这些就差不多了。铝离子是铝和片碱反应生成的.或者形成了偏铝酸钠，它们之 ...

同学你好，最近在做这个实验的时候发现，铝的边缘容易生成黑色的沉淀附着在外围，不容易去除，我用磷酸能够清洗掉，就是搞不明白这个黑色的沉淀是什么
赞一下 回复此楼
志存高远
9楼2015-06-03 23:26:04
 已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

huanhuan5650

金虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
9楼: Originally posted by ke0212 at 2015-06-03 23:26:04
同学你好，最近在做这个实验的时候发现，铝的边缘容易生成黑色的沉淀附着在外围，不容易去除，我用磷酸能够清洗掉，就是搞不明白这个黑色的沉淀是什么...

跟空气接触了吗》？
赞一下 回复此楼
10楼2015-06-04 08:42:46
 已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 TICOO 的主题更新
151/2返回列表12下一页
普通表情 龙 兔 虎 猫 高级回复(可上传附件)
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭