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铝的蚀刻工艺 已有1人参与
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目前在做一个课题 就是半导体领域常用的硬质铝刀片 需要用氢氧化钠去蚀刻一部分铝 想请教下，铝用NaOH去蚀刻除了需要注意 氢氧化钠浓度 反应温度，还要注意什么， 随着反应的进行，氢氧化钠慢慢消耗，应该怎么维持氢氧化钠的浓度呢？ 蚀刻液中偏铝酸钠的浓度会影响蚀刻速度吗？ |
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huanhuan5650
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tyhjqxbz: 金币+1, 感谢应助交流，常来工艺技术版 2014-08-21 06:41:06
ke0212: 金币+1 2014-08-21 20:51:27
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铝的碱性蚀刻： 片碱：45~80g/L ，根据速度可适当调高浓度，硝酸钠保持和片碱1:1就可以。温度60~80，铝离子不超过50g/L。时间3~5min，控制这些就差不多了。铝离子是铝和片碱反应生成的.或者形成了偏铝酸钠，它们之间过程是可逆的。注意定期清理槽底下的渣子。流程：除油--除氧化层--涂布---烤干---曝光----显影----蚀刻---褪膜 ---阳极氧化---OK |
5楼2014-08-20 13:06:07
tyhjqxbz
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加快速度的方法： 方法一：加大氢氧化钠浓度 方法二：当然可以滴几滴硫酸铜(只能几滴，多了会沉淀，这时溶液变蓝)， 使之生成不稳定络合物[Cu(OH)4]2- 铝可以从中置换出Cu，形成原电池加快反应 这篇文献可以看看哦http://www.cnki.com.cn/Article/CJFDTotal-QJGY201307024.htm http://wenku.baidu.com/link?url= ... AdJ0kn6tyhoTfeCSphm |
2楼2014-08-19 07:06:40
huanhuan5650
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