24小时热门版块排行榜

返回列表

当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

ke0212

铁杆木虫 (著名写手)

应助: 2 (幼儿园)
金币: 8615
散金: 66
红花: 15
沙发: 3
帖子: 2131
在线: 419.3小时
虫号: 1001330
注册: 2010-04-20
专业: 半导体材料

[交流] 铝的蚀刻工艺已有1人参与

目前在做一个课题就是半导体领域常用的硬质铝刀片需要用氢氧化钠去蚀刻一部分铝
想请教下，铝用NaOH去蚀刻除了需要注意氢氧化钠浓度反应温度，还要注意什么，随着反应的进行，氢氧化钠慢慢消耗，应该怎么维持氢氧化钠的浓度呢？
蚀刻液中偏铝酸钠的浓度会影响蚀刻速度吗？

回复此楼

志存高远

1楼2014-08-18 22:52:30

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

huanhuan5650

金虫 (正式写手)

应助: 14 (小学生)
金币: 651.7
散金: 22
红花: 18
帖子: 516
在线: 150.6小时
虫号: 638167
注册: 2008-10-27
性别: GG
专业: 金属材料表面科学与工程

★ ★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
tyhjqxbz: 金币+1, 感谢应助交流，常来工艺技术版 2014-08-21 06:41:06
ke0212: 金币+1 2014-08-21 20:51:27

引用回帖:

4楼: Originally posted by ke0212 at 2014-08-19 19:16:07
是的啊非常感谢，铝蚀刻的工艺流程和参数、以及过程的控制，管理这些有资料能给我参考吗？

另外铝离子的范围？这个鋁离子是怎么产生的呢？我查阅了很多资料，铝在强碱溶液中怎么会有铝离子产生呢？...

铝的碱性蚀刻：片碱：45~80g/L ，根据速度可适当调高浓度，硝酸钠保持和片碱1:1就可以。温度60~80，铝离子不超过50g/L。时间3~5min，控制这些就差不多了。铝离子是铝和片碱反应生成的.或者形成了偏铝酸钠，它们之间过程是可逆的。注意定期清理槽底下的渣子。流程：除油--除氧化层--涂布---烤干---曝光----显影----蚀刻---褪膜 ---阳极氧化---OK

赞一下(1人)

回复此楼

5楼2014-08-20 13:06:07

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

查看全部 15 个回答

tyhjqxbz

主管区长 (文坛精英)

TEPI: 41
应助: 220 (大学生)
贵宾: 31.322
金币: 140747
散金: 60553
红花: 883
沙发: 1020
帖子: 32994
在线: 3441.8小时
虫号: 782124
注册: 2009-05-29
专业: 能源化工
管辖: 注册执考区

★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖

加快速度的方法：
方法一：加大氢氧化钠浓度
方法二：当然可以滴几滴硫酸铜(只能几滴，多了会沉淀，这时溶液变蓝)，
使之生成不稳定络合物[Cu(OH)4]2-
铝可以从中置换出Cu，形成原电池加快反应

这篇文献可以看看哦http://www.cnki.com.cn/Article/CJFDTotal-QJGY201307024.htm

http://wenku.baidu.com/link?url= ... AdJ0kn6tyhoTfeCSphm

赞一下

回复此楼

只为成功找方法，不为失败找借口——欢迎常到注册执考区

2楼2014-08-19 07:06:40

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖