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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 化学化工区 » 工艺技术 » 工艺设计 » 铝的蚀刻工艺
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ke0212

铁杆木虫 (著名写手)

[交流] 铝的蚀刻工艺 已有1人参与

目前在做一个课题  就是半导体领域常用的硬质铝刀片  需要用氢氧化钠去蚀刻一部分铝   
  想请教下，铝用NaOH去蚀刻除了需要注意  氢氧化钠浓度  反应温度，还要注意什么，  随着反应的进行，氢氧化钠慢慢消耗，应该怎么维持氢氧化钠的浓度呢？
蚀刻液中偏铝酸钠的浓度会影响蚀刻速度吗？
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huanhuan5650

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志存高远
1楼 2014-08-18 22:52:30
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huanhuan5650

金虫 (正式写手)
★ ★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
ke0212: 金币+1 2014-08-22 21:33:09
scu2020: 金币+1, 感谢应助交流，常来工艺技术版 2014-08-22 23:23:59
引用回帖:
6楼: Originally posted by ke0212 at 2014-08-21 20:54:07
硝酸钠的作用是什么？  是质量比为1:1吗？   
流程：除油--除氧化层--涂布---烤干---曝光----显影----蚀刻---褪膜 ---阳极氧化---OK   这个流程是电化学蚀刻吗？...

质量比 ，作用：降温，缓冲剂
是化学蚀刻
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7楼2014-08-22 08:21:38
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tyhjqxbz

主管区长 (文坛精英)

优秀版主优秀版主优秀版主优秀区长优秀版主优秀版主优秀版主
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
加快速度的方法：
方法一：加大氢氧化钠浓度
方法二：当然可以滴几滴硫酸铜(只能几滴，多了会沉淀，这时溶液变蓝)，
使之生成不稳定络合物[Cu(OH)4]2-
铝可以从中置换出Cu，形成原电池加快反应

这篇文献可以看看哦http://www.cnki.com.cn/Article/CJFDTotal-QJGY201307024.htm

http://wenku.baidu.com/link?url= ... AdJ0kn6tyhoTfeCSphm
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只为成功找方法，不为失败找借口——欢迎常到注册执考区
2楼2014-08-19 07:06:40
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huanhuan5650

金虫 (正式写手)
★ ★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
送红花一朵
ke0212: 金币+1 2014-08-19 19:47:04
tyhjqxbz: 金币+1, 感谢应助交流，常来工艺技术版 2014-08-20 06:56:51
你是需要铝蚀刻的工艺流程和参数吗？以及过程的控制，管理？铝离子的范围？
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3楼2014-08-19 16:58:12
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ke0212

铁杆木虫 (著名写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by huanhuan5650 at 2014-08-19 16:58:12
你是需要铝蚀刻的工艺流程和参数吗？以及过程的控制，管理？铝离子的范围？

是的啊  非常感谢，铝蚀刻的工艺流程和参数、以及过程的控制，管理这些有资料能给我参考吗？

另外铝离子的范围？这个鋁离子是怎么产生的呢？ 我查阅了很多资料，铝在强碱溶液中怎么会有铝离子产生呢？
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志存高远
4楼2014-08-19 19:16:07
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