北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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ke0212

铁杆木虫 (著名写手)

[交流] 铝的蚀刻工艺 已有1人参与

目前在做一个课题  就是半导体领域常用的硬质铝刀片  需要用氢氧化钠去蚀刻一部分铝   
  想请教下,铝用NaOH去蚀刻除了需要注意  氢氧化钠浓度  反应温度,还要注意什么,  随着反应的进行,氢氧化钠慢慢消耗,应该怎么维持氢氧化钠的浓度呢?
蚀刻液中偏铝酸钠的浓度会影响蚀刻速度吗?
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志存高远
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ke0212

铁杆木虫 (著名写手)

引用回帖:
12楼: Originally posted by huanhuan5650 at 2015-06-05 08:43:53
用30%的硝酸泡一下,看能不能再30~60秒内洗掉,如果能,说明就是杂质,C ,Si,Fe等杂质...

还有个问题请教一下,配制蚀刻液的时候,需要用去离子水吗?  我目前是用蒸馏水配制的
志存高远
14楼2015-06-10 20:38:09
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tyhjqxbz

主管区长 (文坛精英)

优秀版主优秀版主优秀版主优秀区长优秀版主优秀版主优秀版主


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
加快速度的方法:
方法一:加大氢氧化钠浓度
方法二:当然可以滴几滴硫酸铜(只能几滴,多了会沉淀,这时溶液变蓝),
使之生成不稳定络合物[Cu(OH)4]2-
铝可以从中置换出Cu,形成原电池加快反应

这篇文献可以看看哦http://www.cnki.com.cn/Article/CJFDTotal-QJGY201307024.htm

http://wenku.baidu.com/link?url= ... AdJ0kn6tyhoTfeCSphm
只为成功找方法,不为失败找借口——欢迎常到注册执考区
2楼2014-08-19 07:06:40
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huanhuan5650

金虫 (正式写手)

★ ★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
送红花一朵
ke0212: 金币+1 2014-08-19 19:47:04
tyhjqxbz: 金币+1, 感谢应助交流,常来工艺技术版 2014-08-20 06:56:51
你是需要铝蚀刻的工艺流程和参数吗?以及过程的控制,管理?铝离子的范围?
3楼2014-08-19 16:58:12
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ke0212

铁杆木虫 (著名写手)

引用回帖:
3楼: Originally posted by huanhuan5650 at 2014-08-19 16:58:12
你是需要铝蚀刻的工艺流程和参数吗?以及过程的控制,管理?铝离子的范围?

是的啊  非常感谢,铝蚀刻的工艺流程和参数、以及过程的控制,管理这些有资料能给我参考吗?

另外铝离子的范围?这个鋁离子是怎么产生的呢? 我查阅了很多资料,铝在强碱溶液中怎么会有铝离子产生呢?
志存高远
4楼2014-08-19 19:16:07
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