24小时热门版块排行榜    

查看: 2027  |  回复: 7

飞的仔仔

新虫 (初入文坛)

[求助] 硅片基片上镀铜 已有3人参与

求助,各位电化学前辈,如下:
      【目的】:在溅射好一层铜的硅片(SiO2/Si,溅射后得到Cu/Ti/SiO2/Si),准备镀一层铜,加厚铜的厚度;
      【我的做法】:直接用最简单的方法(设备有限,只有恒流稳压电源),用磷酸+聚乙二醇(400),正极放铜,负极放硅片(溅射好金属的)电镀;
      【产生的问题】:厚度感觉上不去;时间增长,铜表面从金黄色变得越来越暗褐色;
      【目标】:镀一层【光亮的】【一定厚度的】【整平的】铜,最后要放在高温下(1024℃)反应,接近铜的熔点;
                      所以,保证铜的厚度,不然会露出铜下面的金属和硅片;
希望各位大牛给予帮助,小弟对此领域尚属空白,若能就目标制定新的镀铜方案和配方,仍然感激不尽!!!
回复此楼
fighting for yourself
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

my0769

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
飞的仔仔: 金币+10, 有帮助 2014-07-11 13:33:27
内容已删除
百度知道-广东表面处理团
2楼2014-07-03 11:02:29
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

邪恶的大肉丸

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
飞的仔仔: 金币+15, 有帮助 2014-07-11 13:33:47
我这有个无电沉积的配方:

A溶液 24mM CuSO4 + 10 mM NiCl + 300mM 甲醛
B溶液 250mM NaOH + 160mM 酒石酸钾钠

1:1 混合

基片浸入,室温静置
3楼2014-07-03 13:55:38
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

semir1107

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
飞的仔仔: 金币+25, ★★★很有帮助, 嗯···没做哦··材料大多数没有···买有点麻烦哪··· 2014-07-11 13:34:54
1L溶液中含:硫酸铜8g、edta-2na 18g、甲醛10ml、联吡啶10mg、PEG 10mg  NaOH---PH=12.5
温度50浴中放置1h得4-5微米铜层
做好了给分哦
4楼2014-07-07 08:39:41
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

jjhugo

捐助贵宾 (职业作家)

引用回帖:
4楼: Originally posted by semir1107 at 2014-07-07 08:39:41
1L溶液中含:硫酸铜8g、edta-2na 18g、甲醛10ml、联吡啶10mg、PEG 10mg  NaOH---PH=12.5
温度50浴中放置1h得4-5微米铜层
做好了给分哦

经典化学厚铜配方~~~
不过加厚不太好,一般这个配方镀2微米,加厚用酸性电镀
我要各位记住,我们不是为了马革裹尸,不是为了为国捐躯而战。我们赢得战争,要的是敌方的可怜虫为国捐躯,马革裹尸。
5楼2014-07-08 11:07:11
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

飞的仔仔

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by my0769 at 2014-07-03 11:02:29
用磷酸+聚乙二醇(400)?我不太确定你这样做的是不是你这个行业通用的做法。镀铜我们一般用硫酸铜200g/L,硫酸80,氯离子100PPM,再加一些光亮剂,电流效率98%左右,大概一分钟可以镀一个微米。如果你特别强调厚度均匀 ...

嗯~谢谢回复,我最终还是酸镀了!配方用电镀手册里面的一种,刚好实验室有对应光亮剂!可是,为嘛,又有问题了···,和硅片粘接力好差···
fighting for yourself
6楼2014-07-11 13:33:07
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

飞的仔仔

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
3楼: Originally posted by 邪恶的大肉丸 at 2014-07-03 13:55:38
我这有个无电沉积的配方:

A溶液 24mM CuSO4 + 10 mM NiCl + 300mM 甲醛
B溶液 250mM NaOH + 160mM 酒石酸钾钠

1:1 混合

基片浸入,室温静置

这是化学镀是吧?嗯,材料得一个个买,有丢丢麻烦···
fighting for yourself
7楼2014-07-11 13:34:16
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

fymcome

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
6楼: Originally posted by 飞的仔仔 at 2014-07-11 13:33:07
嗯~谢谢回复,我最终还是酸镀了!配方用电镀手册里面的一种,刚好实验室有对应光亮剂!可是,为嘛,又有问题了···,和硅片粘接力好差···...

不好意思,我想请问下,你酸度的电流密度是多少,阴极阳极间距离是多少呢,还有为什么我在硅片上镀铜,到后来,铜都被腐蚀了
8楼2015-07-23 16:36:34
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 飞的仔仔 的主题更新
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 281求调剂(0805) +6 烟汐忆海 2026-03-16 15/750 2026-03-18 21:12 by Gaodh_82
[考研] 一志愿天津大学化学工艺专业(081702)315分求调剂 +10 yangfz 2026-03-17 10/500 2026-03-18 20:14 by walc
[考研] 一志愿985,本科211,0817化学工程与技术319求调剂 +7 Liwangman 2026-03-15 7/350 2026-03-18 20:08 by walc
[考研] 070303一志愿西北大学学硕310找调剂 +6 d如愿上岸 2026-03-12 9/450 2026-03-18 19:50 by macy2011
[考研] 0703化学调剂 ,六级已过,有科研经历 +10 曦熙兮 2026-03-15 10/500 2026-03-18 14:19 by 007_lilei
[考研] 331求调剂(0703有机化学 +7 ZY-05 2026-03-13 8/400 2026-03-18 14:13 by 007_lilei
[考研] 070300化学319求调剂 +6 锦鲤0909 2026-03-17 6/300 2026-03-18 13:22 by Iveryant
[考研] 302求调剂 +10 呼呼呼。。。。 2026-03-17 10/500 2026-03-18 12:45 by Linda Hu
[考研] 0854,计算机类招收调剂 +3 胡辣汤放糖 2026-03-15 6/300 2026-03-18 12:09 by 上岸上岸……..
[考研] 280求调剂 +6 咕噜晓晓 2026-03-18 7/350 2026-03-18 11:25 by 无际的草原
[考研] 303求调剂 +4 睿08 2026-03-17 6/300 2026-03-18 11:01 by Iveryant
[考博] 26博士申请 +3 1042136743 2026-03-17 3/150 2026-03-17 23:30 by 轻松不少随
[基金申请] 被我言中:新模板不强调格式了,假专家开始管格式了 +4 beefly 2026-03-14 4/200 2026-03-17 22:04 by 黄鸟于飞Chao
[考研] 材料工程专硕274一志愿211求调剂 +6 薛云鹏 2026-03-15 6/300 2026-03-17 11:05 by 学员h26Tkc
[考研] 070305求调剂 +3 mlpqaz03 2026-03-14 4/200 2026-03-15 11:04 by peike
[考研] 080500,材料学硕302分求调剂学校 +4 初识可乐 2026-03-14 5/250 2026-03-14 21:08 by peike
[基金申请] 现在如何回避去年的某一个专家,不知道名字 +3 zk200107 2026-03-12 6/300 2026-03-14 17:13 by zk200107
[考研] 266求调剂 +4 学员97LZgn 2026-03-13 4/200 2026-03-14 08:37 by zhukairuo
[考研] 求调剂 +3 程雨杭 2026-03-12 3/150 2026-03-13 15:06 by JourneyLucky
[考研] 085600材料与化工 309分请求调剂 +7 dtdxzxx 2026-03-12 8/400 2026-03-13 14:43 by jxchenghu
信息提示
请填处理意见