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飞的仔仔

新虫 (初入文坛)

[求助] 硅片基片上镀铜已有3人参与

求助,各位电化学前辈,如下:
      【目的】:在溅射好一层铜的硅片(SiO2/Si,溅射后得到Cu/Ti/SiO2/Si),准备镀一层铜,加厚铜的厚度;
      【我的做法】:直接用最简单的方法(设备有限,只有恒流稳压电源),用磷酸+聚乙二醇(400),正极放铜,负极放硅片(溅射好金属的)电镀;
      【产生的问题】:厚度感觉上不去;时间增长,铜表面从金黄色变得越来越暗褐色;
      【目标】:镀一层【光亮的】【一定厚度的】【整平的】铜,最后要放在高温下(1024℃)反应,接近铜的熔点;
                      所以,保证铜的厚度,不然会露出铜下面的金属和硅片;
希望各位大牛给予帮助,小弟对此领域尚属空白,若能就目标制定新的镀铜方案和配方,仍然感激不尽!!!
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fighting for yourself
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邪恶的大肉丸

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

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感谢参与,应助指数 +1
飞的仔仔: 金币+15, 有帮助 2014-07-11 13:33:47
我这有个无电沉积的配方:

A溶液 24mM CuSO4 + 10 mM NiCl + 300mM 甲醛
B溶液 250mM NaOH + 160mM 酒石酸钾钠

1:1 混合

基片浸入,室温静置
3楼2014-07-03 13:55:38
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