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飞的仔仔

新虫 (初入文坛)

[求助] 硅片基片上镀铜已有3人参与

求助,各位电化学前辈,如下:
      【目的】:在溅射好一层铜的硅片(SiO2/Si,溅射后得到Cu/Ti/SiO2/Si),准备镀一层铜,加厚铜的厚度;
      【我的做法】:直接用最简单的方法(设备有限,只有恒流稳压电源),用磷酸+聚乙二醇(400),正极放铜,负极放硅片(溅射好金属的)电镀;
      【产生的问题】:厚度感觉上不去;时间增长,铜表面从金黄色变得越来越暗褐色;
      【目标】:镀一层【光亮的】【一定厚度的】【整平的】铜,最后要放在高温下(1024℃)反应,接近铜的熔点;
                      所以,保证铜的厚度,不然会露出铜下面的金属和硅片;
希望各位大牛给予帮助,小弟对此领域尚属空白,若能就目标制定新的镀铜方案和配方,仍然感激不尽!!!
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fighting for yourself
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飞的仔仔

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by my0769 at 2014-07-03 11:02:29
用磷酸+聚乙二醇(400)?我不太确定你这样做的是不是你这个行业通用的做法。镀铜我们一般用硫酸铜200g/L,硫酸80,氯离子100PPM,再加一些光亮剂,电流效率98%左右,大概一分钟可以镀一个微米。如果你特别强调厚度均匀 ...

嗯~谢谢回复,我最终还是酸镀了!配方用电镀手册里面的一种,刚好实验室有对应光亮剂!可是,为嘛,又有问题了···,和硅片粘接力好差···
fighting for yourself
6楼2014-07-11 13:33:07
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飞的仔仔

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
3楼: Originally posted by 邪恶的大肉丸 at 2014-07-03 13:55:38
我这有个无电沉积的配方:

A溶液 24mM CuSO4 + 10 mM NiCl + 300mM 甲醛
B溶液 250mM NaOH + 160mM 酒石酸钾钠

1:1 混合

基片浸入,室温静置

这是化学镀是吧?嗯,材料得一个个买,有丢丢麻烦···
fighting for yourself
7楼2014-07-11 13:34:16
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