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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 化学化工区 » 电化学 » 电化基础 » 硅片基片上镀铜
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飞的仔仔

新虫 (初入文坛)

[求助] 硅片基片上镀铜 已有3人参与

求助，各位电化学前辈，如下：
      【目的】：在溅射好一层铜的硅片（SiO2/Si，溅射后得到Cu/Ti/SiO2/Si），准备镀一层铜，加厚铜的厚度；
      【我的做法】：直接用最简单的方法（设备有限，只有恒流稳压电源），用磷酸+聚乙二醇（400），正极放铜，负极放硅片（溅射好金属的）电镀；
      【产生的问题】：厚度感觉上不去；时间增长，铜表面从金黄色变得越来越暗褐色；
      【目标】：镀一层【光亮的】【一定厚度的】【整平的】铜，最后要放在高温下（1024℃）反应，接近铜的熔点；
                      所以，保证铜的厚度，不然会露出铜下面的金属和硅片；
希望各位大牛给予帮助，小弟对此领域尚属空白，若能就目标制定新的镀铜方案和配方，仍然感激不尽！！！
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fighting for yourself
1楼 2014-07-03 09:53:32
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my0769

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
飞的仔仔: 金币+10, ★有帮助 2014-07-11 13:33:27
内容已删除
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百度知道－广东表面处理团
2楼2014-07-03 11:02:29
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邪恶的大肉丸

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
飞的仔仔: 金币+15, ★有帮助 2014-07-11 13:33:47
我这有个无电沉积的配方：

A溶液 24mM CuSO4 + 10 mM NiCl + 300mM 甲醛
B溶液 250mM NaOH + 160mM 酒石酸钾钠

1:1 混合

基片浸入，室温静置
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3楼2014-07-03 13:55:38
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semir1107

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
飞的仔仔: 金币+25, ★★★很有帮助, 嗯···没做哦··材料大多数没有···买有点麻烦哪··· 2014-07-11 13:34:54
1L溶液中含：硫酸铜8g、edta-2na 18g、甲醛10ml、联吡啶10mg、PEG 10mg  NaOH---PH=12.5
温度50浴中放置1h得4-5微米铜层
做好了给分哦
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4楼2014-07-07 08:39:41
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jjhugo

捐助贵宾 (职业作家)
引用回帖:
4楼: Originally posted by semir1107 at 2014-07-07 08:39:41
1L溶液中含：硫酸铜8g、edta-2na 18g、甲醛10ml、联吡啶10mg、PEG 10mg  NaOH---PH=12.5
温度50浴中放置1h得4-5微米铜层
做好了给分哦

经典化学厚铜配方~~~
不过加厚不太好，一般这个配方镀2微米，加厚用酸性电镀
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我要各位记住，我们不是为了马革裹尸，不是为了为国捐躯而战。我们赢得战争，要的是敌方的可怜虫为国捐躯，马革裹尸。
5楼2014-07-08 11:07:11
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飞的仔仔

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by my0769 at 2014-07-03 11:02:29
用磷酸+聚乙二醇（400）?我不太确定你这样做的是不是你这个行业通用的做法。镀铜我们一般用硫酸铜200g/L,硫酸80，氯离子100PPM,再加一些光亮剂，电流效率98%左右，大概一分钟可以镀一个微米。如果你特别强调厚度均匀 ...

嗯~谢谢回复，我最终还是酸镀了！配方用电镀手册里面的一种，刚好实验室有对应光亮剂！可是，为嘛，又有问题了···，和硅片粘接力好差···
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fighting for yourself
6楼2014-07-11 13:33:07
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飞的仔仔

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
3楼: Originally posted by 邪恶的大肉丸 at 2014-07-03 13:55:38
我这有个无电沉积的配方：

A溶液 24mM CuSO4 + 10 mM NiCl + 300mM 甲醛
B溶液 250mM NaOH + 160mM 酒石酸钾钠

1:1 混合

基片浸入，室温静置

这是化学镀是吧？嗯，材料得一个个买，有丢丢麻烦···
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fighting for yourself
7楼2014-07-11 13:34:16
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fymcome

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
6楼: Originally posted by 飞的仔仔 at 2014-07-11 13:33:07
嗯~谢谢回复，我最终还是酸镀了！配方用电镀手册里面的一种，刚好实验室有对应光亮剂！可是，为嘛，又有问题了···，和硅片粘接力好差···...

不好意思，我想请问下，你酸度的电流密度是多少，阴极阳极间距离是多少呢，还有为什么我在硅片上镀铜，到后来，铜都被腐蚀了
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8楼2015-07-23 16:36:34
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